156 mm 159 mm 6 tuuman safiirikiekko C-Plane DSP TTV -kantoaallon kantajalle
Tekniset tiedot
Tuote | 6 tuuman C-tason (0001) safiirikiekot | |
Kristallimateriaalit | 99,999 %, erittäin puhdas, monokiteinen Al2O3 | |
Luokka | Prime, Epi-valmis | |
Pinnan suunta | C-taso (0001) | |
C-tason sivuttaiskulma M-akselia kohti 0,2 +/- 0,1° | ||
Halkaisija | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Paksuus | 650 μm +/- 25 μm | |
Ensisijainen tasainen suunta | C-taso (00-01) +/- 0,2° | |
Yksipuolinen kiillotettu | Etupinta | Epi-kiillotettu, Ra < 0,2 nm (AFM:llä) |
(SSP) | Takapinta | Hienoksi jauhettu, Ra = 0,8 μm - 1,2 μm |
Kaksipuolinen kiillotettu | Etupinta | Epi-kiillotettu, Ra < 0,2 nm (AFM:llä) |
(DSP) | Takapinta | Epi-kiillotettu, Ra < 0,2 nm (AFM:llä) |
TTV | < 20 μm | |
KEULA | < 20 μm | |
LOIMI | < 20 μm | |
Puhdistus / Pakkaus | Luokan 100 puhdastilojen puhdistus ja tyhjiöpakkaus, | |
25 kappaletta yhdessä kasettipakkauksessa tai yksittäispakkauksessa. |
Kylopoulos-menetelmää (KY-menetelmä) käyttävät tällä hetkellä monet kiinalaiset yritykset safiirikiteiden valmistukseen elektroniikka- ja optiikkateollisuudelle.
Tässä prosessissa erittäin puhdasta alumiinioksidia sulatetaan upokkaassa yli 2100 celsiusasteen lämpötilassa. Upokas on yleensä valmistettu volframista tai molybdeenistä. Tarkkaan suunnattu siemenkide upotetaan sulaan alumiinioksidiin. Siemenkidettä vedetään hitaasti ylöspäin ja sitä voidaan pyörittää samanaikaisesti. Säätämällä tarkasti lämpötilagradienttia, vetonopeutta ja jäähdytysnopeutta, sulasta voidaan valmistaa suuri, yksikideinen, lähes sylinterimäinen harkko.
Kun yksittäiskristallisafiiriharkot on kasvatettu, ne porataan sylinterimäisiksi tankoiksi, jotka sitten leikataan haluttuun ikkunapaksuuteen ja lopuksi kiillotetaan haluttuun pintakäsittelyyn.
Yksityiskohtainen kaavio


