2 tuuman 4 tuuman 6 tuuman kuviollinen safiiripohja (PSS), jolle GaN-materiaalia kasvatetaan, voidaan käyttää LED-valaistukseen

Lyhyt kuvaus:

Kuvioitu safiiri-alusta (PSS) on safiirialustalle tehtävä kuivaetsausmaski. Maskiin kaiverretaan kuvio standardilitografiaprosessilla, minkä jälkeen safiiri etsataan ICP-etsaustekniikalla, maski poistetaan ja lopuksi GaN-materiaalia kasvatetaan sen päälle, jolloin GaN-materiaalin pitkittäisestä epitaksiasta tulee horisontaalinen epitaksi. Tämä prosessi sisältää useita vaiheita, kuten fotoresistipinnoituksen, porrastetun valotuksen, valotuskuvion kehittämisen, ICP-kuivaetsauksen ja puhdistuksen.


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Tärkeimmät ominaisuudet

1. Rakenteelliset ominaisuudet:
PSS-pinnalla on järjestetty kartio- tai kolmionmuotoinen kartiokuvio, jonka muotoa, kokoa ja jakautumista voidaan säätää säätämällä etsausprosessin parametreja.
Nämä graafiset rakenteet auttavat muuttamaan valon etenemisreittiä ja vähentämään valon kokonaisheijastusta, mikä parantaa valon erottamisen tehokkuutta.

2. Materiaaliominaisuudet:
PSS käyttää substraattimateriaalina korkealaatuista safiiria, jolla on korkea kovuus, korkea lämmönjohtavuus, hyvä kemiallinen stabiilius ja optinen läpinäkyvyys.
Näiden ominaisuuksien ansiosta PSS kestää ankaria ympäristöjä, kuten korkeita lämpötiloja ja paineita, säilyttäen samalla erinomaisen optisen suorituskyvyn.

3. Optinen suorituskyky:
Muuttamalla moninkertaista sirontaa GaN:n ja safiirisubstraatin rajapinnassa, PSS antaa GaN-kerroksen sisään kokonaan heijastuneille fotoneille mahdollisuuden paeta safiirisubstraatista.
Tämä ominaisuus parantaa merkittävästi LEDin valonpoiston tehokkuutta ja lisää LEDin valovoimaa.

4. Prosessin ominaisuudet:
PSS:n valmistusprosessi on suhteellisen monimutkainen ja sisältää useita vaiheita, kuten litografian ja etsauksen, ja vaatii erittäin tarkkoja laitteita ja prosessinohjausta.
Teknologian jatkuvan kehityksen ja kustannusten alenemisen myötä PSS:n valmistusprosessia kuitenkin optimoidaan ja parannetaan vähitellen.

Keskeinen etu

1. Paranna valon poistotehokkuutta: PSS parantaa merkittävästi LEDien valon poistotehokkuutta muuttamalla valon etenemisreittiä ja vähentämällä kokonaisheijastusta.

2. Pidentää LEDin käyttöikää: PSS voi vähentää GaN-epitaksiaalisten materiaalien dislokaatiotiheyttä, mikä vähentää ei-säteilevää rekombinaatiota ja käänteistä vuotovirtaa aktiivisella alueella ja pidentää LEDin käyttöikää.

3. Paranna LED-valojen kirkkautta: Valon poistotehokkuuden parantumisen ja LED-valojen käyttöiän pidentämisen ansiosta PSS:n LED-valonvoimakkuus paranee merkittävästi.

4. Alenna tuotantokustannuksia: Vaikka PSS:n valmistusprosessi on suhteellisen monimutkainen, se voi parantaa merkittävästi LEDien valotehokkuutta ja käyttöikää, mikä vähentää tuotantokustannuksia jossain määrin ja parantaa tuotteen kilpailukykyä.

Tärkeimmät sovellusalueet

1. LED-valaistus: PSS LED-sirujen substraattimateriaalina voi parantaa merkittävästi LEDien valotehokkuutta ja käyttöikää.
LED-valaistuksen alalla PSS:ää käytetään laajalti erilaisissa valaistustuotteissa, kuten katuvalaisimissa, pöytävalaisimissa, autonvaloissa ja niin edelleen.

2. Puolijohdelaitteet: LED-valaistuksen lisäksi PSS:ää voidaan käyttää myös muiden puolijohdelaitteiden, kuten valoilmaisimien, lasereiden jne., valmistukseen. Näillä laitteilla on laaja valikoima sovelluksia viestinnässä, lääketieteessä, sotilasalalla ja muilla aloilla.

3. Optoelektroninen integrointi: PSS:n optiset ominaisuudet ja stabiilius tekevät siitä yhden ihanteellisista materiaaleista optoelektronisen integroinnin alalla. Optoelektronisessa integroinnissa PSS:ää voidaan käyttää optisten aaltojohteiden, optisten kytkimien ja muiden komponenttien valmistukseen optisten signaalien siirron ja käsittelyn toteuttamiseksi.

Tekniset parametrit

Tuote Kuvioitu safiiripohja (2–6 tuumaa)
Halkaisija 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Paksuus 430 ± 25 μm 650 ± 25 μm 1000 ± 25 μm
Pinnan suunta C-tason (0001) sivuttaiskulma M-akselia kohti (10-10) 0,2 ± 0,1°
C-tason (0001) epäkulma A-akselia kohti (11-20) 0 ± 0,1°
Ensisijainen tasainen suunta A-taso (11-20) ± 1,0°
Ensisijainen tasainen pituus 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
R-taso kello 9
Etupinnan viimeistely Kuviollinen
Takapinnan viimeistely SSP: Hienoksi jauhettu, Ra = 0,8–1,2 µm; DSP: Epi-kiillotettu, Ra <0,3 nm
Lasermerkki Takapuoli
TTV ≤8 μm ≤10 μm ≤20 μm
KEULA ≤10 μm ≤15 μm ≤25 μm
LOIMI ≤12 μm ≤20 μm ≤30 μm
Reunan poissulkeminen ≤2 mm
Kuviomäärittely Muotorakenne Kupoli, kartio, pyramidi
Kuvion korkeus 1,6–1,8 μm
Kuvion halkaisija 2,75–2,85 μm
Kuviotila 0,1–0,3 μm

XKH keskittyy kuvioidun safiirisubstraatin (PSS) kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin ja on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia ja tehokkaita PSS-tuotteita asiakkaille ympäri maailmaa. XKH:lla on edistynyt valmistusteknologia ja ammattitaitoinen tekninen tiimi, jotka voivat räätälöidä PSS-tuotteita erilaisilla spesifikaatioilla ja erilaisilla kuviorakenteilla asiakkaiden tarpeiden mukaan. Samalla XKH kiinnittää huomiota tuotteiden ja palvelun laatuun ja on sitoutunut tarjoamaan asiakkaille täyden valikoiman teknistä tukea ja ratkaisuja. PSS-alalla XKH:lla on runsaasti kokemusta ja etuja, ja se odottaa innolla yhteistyötä globaalien kumppaneiden kanssa edistääkseen yhdessä LED-valaistuksen, puolijohdelaitteiden ja muiden teollisuudenalojen innovatiivista kehitystä.

Yksityiskohtainen kaavio

Kuvioitu safiiripohja (PSS) 6
Kuvioitu safiiripohja (PSS) 5
Kuvioitu safiiripohja (PSS) 4

  • Edellinen:
  • Seuraavaksi:

  • Kirjoita viestisi tähän ja lähetä se meille