4H/6H-P 6 tuuman SiC kiekko Zero MPD luokka tuotantoluokka dummy Grade

4H/6H-P 6 tuuman piikarbidikiekko Zero MPD luokka tuotantoluokka dummy Grade Suositeltu kuva

Lyhyt kuvaus:

4H/6H-P-tyypin 6 tuuman SiC-kiekko on elektroniikkalaitteiden valmistuksessa käytetty puolijohdemateriaali, joka tunnetaan erinomaisesta lämmönjohtavuudestaan, korkeasta läpilyöntijännitteestään sekä korkeiden lämpötilojen ja korroosionkestävyydestä. Tuotantolaatu ja Zero MPD (Micro Pipe Defect) -laatu takaavat sen luotettavuuden ja vakauden korkean suorituskyvyn tehoelektroniikassa. Tuotantolaatuisia kiekkoja käytetään laajamittaiseen laitevalmistukseen tiukan laadunvalvonnan kanssa, kun taas valelaatuisia kiekkoja käytetään pääasiassa prosessien virheenkorjaukseen ja laitetestaukseen. Piikarbidin erinomaiset ominaisuudet tekevät siitä laajan käytön korkean lämpötilan, suurjännite- ja suurtaajuuselektroniikkalaitteissa, kuten teholaitteissa ja RF-laitteissa.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

4H/6H-P-tyypin SiC-komposiittisubstraatit Yhteinen parametritaulukko

6 tuuman halkaisija piikarbidi (SiC) alusta Erittely

Luokka			Nolla MPD-tuotantoaArvosana (Z Luokka)	VakiotuotantoArvosana (s Luokka)	Nuken luokka (D Luokka)
Halkaisija			145,5 mm ~ 150,0 mm
Paksuus			350 μm ± 25 μm
Vohvelin suuntaus			-Offakseli: 2,0°-4,0° kohti [1120] ± 0,5° 4H/6H-P, akselilla: 〈111〉± 0,5° 3C-N
Mikroputken tiheys			0 cm-2
Resistanssi	p-tyyppi 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-tyyppi 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Ensisijainen tasainen suuntaus		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Ensisijainen litteä pituus			32,5 mm ± 2,0 mm
Toissijainen litteä pituus			18,0 mm ± 2,0 mm
Toissijainen tasainen suuntaus			Pii etupuoli ylöspäin: 90° CW. pohjamaalauksesta ± 5,0°
Reunojen poissulkeminen			3 mm		6 mm
LTV/TTV/jousi/loimi			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Epätasaisuus			Puolan Ra≤1 nm
			CMP Ra < 0,2 nm		Ra ≤ 0,5 nm
Reunahalkeamia korkean intensiteetin valossa			Ei mitään		Kumulatiivinen pituus ≤ 10 mm, yksi pituus ≤ 2 mm
Kuusiokololevyt korkean intensiteetin valolla			Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05 %		Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,1 %
Polytyyppialueet korkean intensiteetin valolla			Ei mitään		Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 3 %
Visuaaliset hiilisulkeumat			Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05 %		Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 3 %
Korkean intensiteetin valon piipinnan naarmut			Ei mitään		Kumulatiivinen pituus ≤ 1 × kiekon halkaisija
Edge Chips korkea intensiteetti valossa			Ei sallittu ≥0,2 mm leveys ja syvyys		5 sallittua, ≤1 mm kukin
Korkean intensiteetin piipinnan kontaminaatio			Ei mitään
Pakkaus			Multi-wafer-kasetti tai yksi kiekkosäiliö

Huomautuksia:

※ Vikarajoitukset koskevat koko kiekon pintaa paitsi reunan poissulkemisaluetta. # Naarmut tulee tarkistaa Si face o:sta

4H/6H-P-tyypin 6 tuuman SiC-kiekkoa, jossa on Zero MPD -laatu ja tuotanto- tai valelaatuinen, käytetään laajalti kehittyneissä elektronisissa sovelluksissa. Sen erinomainen lämmönjohtavuus, korkea läpilyöntijännite ja ankarien ympäristöjen kestävyys tekevät siitä ihanteellisen tehoelektroniikkaan, kuten suurjännitekytkimiin ja inverttereihin. Zero MPD -laatu takaa minimaaliset viat, mikä on kriittistä erittäin luotettaville laitteille. Tuotantolaatuisia kiekkoja käytetään laajamittaisessa teholaitteiden valmistuksessa ja RF-sovelluksissa, joissa suorituskyky ja tarkkuus ovat tärkeitä. Dummy-luokan kiekkoja taas käytetään prosessien kalibrointiin, laitteiden testaukseen ja prototyyppien valmistukseen, mikä mahdollistaa tasaisen laadunvalvonnan puolijohteiden tuotantoympäristöissä.

N-tyypin SiC-komposiittisubstraattien etuja ovat mm

Korkea lämmönjohtavuus: 4H/6H-P SiC kiekko haihduttaa tehokkaasti lämpöä, joten se sopii korkeisiin lämpötiloihin ja suuritehoisiin elektronisiin sovelluksiin.
Korkea läpimenojännite: Sen kyky käsitellä suuria jännitteitä ilman vikaa tekee siitä ihanteellisen tehoelektroniikkaan ja suurjännitekytkentäsovelluksiin.
Nolla MPD (Micro Pipe Defect) -luokka: Pienin vikatiheys takaa paremman luotettavuuden ja suorituskyvyn, mikä on kriittistä vaativille elektronisille laitteille.
Massavalmistuksen tuotantoluokka: Soveltuu korkean suorituskyvyn puolijohdelaitteiden laajamittaiseen tuotantoon tiukat laatustandardit.
Dummy-Grade testaukseen ja kalibrointiin: Mahdollistaa prosessien optimoinnin, laitteiden testauksen ja prototyyppien valmistuksen ilman kalliita tuotantolaatuisia kiekkoja.

Kaiken kaikkiaan 4H/6H-P 6 tuuman SiC-kiekot, joissa on Zero MPD -laatu, tuotantolaatu ja valelaatu, tarjoavat merkittäviä etuja korkean suorituskyvyn elektronisten laitteiden kehittämisessä. Nämä kiekot ovat erityisen hyödyllisiä sovelluksissa, jotka vaativat korkean lämpötilan toimintaa, suurta tehotiheyttä ja tehokasta tehon muuntamista. Zero MPD -laatu varmistaa minimaaliset viat ja takaa luotettavan ja vakaan laitteen suorituskyvyn, kun taas tuotantotason kiekot tukevat laajamittaista valmistusta tiukan laadunvalvonnan kanssa. Dummy-luokan kiekot tarjoavat kustannustehokkaan ratkaisun prosessin optimointiin ja laitteiden kalibrointiin, joten ne ovat välttämättömiä erittäin tarkassa puolijohteiden valmistuksessa.