4H/6H-P 6 tuuman piikarbidilevy, nolla MPD-laatu, tuotantolaatu, testilaatu
4H/6H-P-tyyppiset piikarbidikomposiittialustat, yhteinen parametritaulukko
6 tuuman halkaisijaltaan piikarbidi (SiC) -alusta Tekniset tiedot
Luokka | Nolla MPD-tuotantoaLuokka (Z Luokka) | VakiotuotantoArvosana (P Luokka) | Nuken luokka (D Luokka) | ||
Halkaisija | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Paksuus | 350 μm ± 25 μm | ||||
Kiekkojen suunta | -Offakseli: 2,0°–4,0° suuntaan [1120] ± 0,5° 4H/6H-P:lle, akselilla: 〈111〉± 0,5° 3C-N:lle | ||||
Mikroputken tiheys | 0 cm⁻² | ||||
Resistiivisyys | p-tyyppi 4H/6H-P | ≤0,1 Ω₀cm | ≤0,3 Ω₀cm | ||
n-tyyppinen 3C-N | ≤0,8 mΩ₀cm | ≤1 m Ω₀cm | |||
Ensisijainen tasainen suunta | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Ensisijainen tasainen pituus | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Toissijainen tasainen pituus | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Toissijainen tasainen suunta | Silikonipinta ylöspäin: 90° myötäpäivään pohjapinnasta ± 5,0° | ||||
Reunan poissulkeminen | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Jousi/Loimi | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Karheus | Puolan Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Reunan halkeamat voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kokonaispituus ≤ 10 mm, yksittäispituus ≤ 2 mm | |||
Kuusikulmaiset levyt High Intensity Lightilla | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05% | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,1 % | |||
Polytyyppialueet voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤3% | |||
Visuaaliset hiili-inkluusiot | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05% | Kumulatiivinen pinta-ala ≤3% | |||
Piipinnan naarmut voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kumulatiivinen pituus ≤1 × kiekon halkaisija | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Ei sallittu ≥0,2 mm leveys ja syvyys | 5 sallittua, ≤1 mm kukin | |||
Piipinnan kontaminaatio suurella intensiteetillä | Ei mitään | ||||
Pakkaus | Monikiekkoinen kasetti tai yksittäisen kiekon säiliö |
Huomautuksia:
※ Vikarajat koskevat koko kiekon pintaa reunan poissulkemisaluetta lukuun ottamatta. # Naarmut tulee tarkistaa piipinnalta o
4H/6H-P-tyyppistä 6-tuumaista piikarbidilevyä, joka on Zero MPD -laatua ja tuotanto- tai mallilaatua, käytetään laajalti edistyneissä elektroniikkasovelluksissa. Sen erinomainen lämmönjohtavuus, korkea läpilyöntijännite ja kestävyys vaativissa ympäristöissä tekevät siitä ihanteellisen tehoelektroniikkaan, kuten korkeajännitekytkimiin ja inverttereihin. Zero MPD -laatu varmistaa minimaaliset virheet, mikä on kriittistä korkean luotettavuuden omaaville laitteille. Tuotantolaatuisia kiekkoja käytetään teholaitteiden ja RF-sovellusten laajamittaisessa valmistuksessa, joissa suorituskyky ja tarkkuus ovat ratkaisevan tärkeitä. Mallilaatuisia kiekkoja puolestaan käytetään prosessien kalibrointiin, laitteiden testaukseen ja prototyyppien valmistukseen, mikä mahdollistaa yhdenmukaisen laadunvalvonnan puolijohdetuotantoympäristöissä.
N-tyypin piikarbidikomposiittisubstraattien etuja ovat mm.
- Korkea lämmönjohtavuus4H/6H-P-siikarbidilevy johtaa lämpöä tehokkaasti pois, joten se soveltuu korkean lämpötilan ja suuren tehon elektroniikkasovelluksiin.
- Korkea läpilyöntijänniteSen kyky käsitellä korkeita jännitteitä ilman häiriöitä tekee siitä ihanteellisen tehoelektroniikkaan ja suurjännitekytkentäsovelluksiin.
- Nolla MPD-luokka (mikroputkivirhe)Minimaalinen vikatiheys varmistaa paremman luotettavuuden ja suorituskyvyn, mikä on kriittistä vaativille elektronisille laitteille.
- Tuotantoluokka massatuotantoonSoveltuu tiukkojen laatustandardien mukaisten, tehokkaiden puolijohdekomponenttien laajamittaiseen tuotantoon.
- Testaus- ja kalibrointitestausmenetelmää vartenMahdollistaa prosessien optimoinnin, laitteiden testauksen ja prototyyppien valmistuksen ilman kalliita tuotantolaatuisia kiekkoja.
Kaiken kaikkiaan 4H/6H-P 6-tuumaiset piikarbidilevyt, joissa on Zero MPD -laatua, tuotantolaatua ja harjoituslaatua, tarjoavat merkittäviä etuja korkean suorituskyvyn elektronisten laitteiden kehittämisessä. Nämä kiekot ovat erityisen hyödyllisiä sovelluksissa, jotka vaativat korkeaa lämpötilaa, suurta tehotiheyttä ja tehokasta tehomuunnosta. Zero MPD -laatu varmistaa minimaaliset virheet luotettavan ja vakaan laitteen suorituskyvyn saavuttamiseksi, kun taas tuotantolaatuiset kiekot tukevat laajamittaista valmistusta tiukoilla laadunvalvonnan vaatimuksilla. Harjoituslaatuiset kiekot tarjoavat kustannustehokkaan ratkaisun prosessien optimointiin ja laitteiden kalibrointiin, mikä tekee niistä välttämättömiä erittäin tarkkojen puolijohteiden valmistuksessa.
Yksityiskohtainen kaavio

