4 tuuman 6 tuuman litiumniobaatti yksikidekalvo LNOI kiekko
LNOI-materiaalien valmistusprosessi on jaettu pääasiassa neljään seuraavaan vaiheeseen
(1) He-ioneja injektoitiin X-leikattuun litiumniobaattimateriaaliin tietyllä energialla ja syötettiin vikakerrokseen tietyllä syvyydellä litiumniobaatin pintakerroksen alapuolelle;
(2) Ioni-istutettu litiumniobaattimateriaali sidotaan piisubstraattiin oksidikerroksella sidosrakenteen muodostamiseksi;
(3) Sidosrakennetta hehkutettiin, jotta He-ioni-istuttamisen aiheuttamat viat kehittyisivät ja aggregoituivat muodostaen halkeamia. Lopuksi litiumniobaatti erotettiin vikakerrosta pitkin jäljellä olevien litiumniobaattiviipaleiden ja LNOI-kiekkojen muodostamiseksi.
LNOI-kiekon sovellukset ja edut
1 - Litiumniobaattipietsosähköisillä kalvoilla (LNOI) on korkea pietsosähköinen kerroin ja dielektrisyysvakio, jotka voivat muuntaa mekaanisen energian sähköenergiaksi tai sähköenergian mekaaniseksi energiaksi. Siksi sitä käytetään laajasti antureiden, kuten paineantureiden, kiihtyvyysantureiden, lämpötila-anturien ja niin edelleen, alalla. Lisäksi litiumniobaattipietsosähköistä kalvoa voidaan käyttää myös akustisissa laitteissa ja värähtelylaitteissa, kuten pietsosähköisessä keraamisessa muuntimen kompleksissa pietsosähköisessä keraamisessa suodattimessa.
2-Litiumniobaattipietsosähköisen kalvon stabiilius on myös yksi sen eduista. Kiderakenteen vakauden ja kemiallisen inertiteettinsä ansiosta litiumniobaattipietsosähköinen kalvo voi toimia korkeassa lämpötilassa, korkeassa kosteudessa, vahvassa hapossa, vahvassa alkalissa ja muussa ankarassa ympäristössä, jolla on hyvä korroosionkestävyys ja kestävyys.
Pietsosähköinen 3-litiumniobaattikalvo on uusi pietsosähköinen materiaali, jolla on erinomainen suorituskyky ja vakaus ja jolla on laaja käyttömahdollisuus. Tieteen ja tekniikan jatkuvan kehityksen myötä litiumniobaattipietsosähköistä kalvoa käytetään useammissa kaupungeissa, mikä tuo enemmän mukavuutta ja innovaatioita ihmisten elämään