4 tuuman 6 tuuman litiumniobaatti-yksikiteinen kalvo LNOI-kiekko
LNOI-materiaalien valmistusprosessi on pääasiassa jaettu seuraaviin neljään vaiheeseen
(1) He-ioneja injektoitiin X-leikattuun litiumniobaattimateriaaliin tietyllä energialla ja vietiin vikakerrokseen tietylle syvyydelle litiumniobaatin pintakerroksen alapuolelle;
(2) Ioni-istutettu litiumniobaattimateriaali on sidottu piisubstraattiin oksidikerroksella sidosrakenteen muodostamiseksi;
(3) Sidosrakennetta hehkutettiin, jotta heliumioni-istutuksen aiheuttamat viat kehittyisivät ja aggregoituisivat muodostaen halkeamia. Lopuksi litiumniobaatti erotettiin vikakerrosta pitkin, jolloin muodostui jäljellä olevia litiumniobaattiviipaleita ja LNOI-kiekkoja.
LNOI-kiekon sovellukset ja edut
1. Litiumniobaatti-pietsosähköisillä kalvoilla (LNOI) on korkea pietsosähköinen kerroin ja dielektrisyysvakio, jotka voivat muuntaa mekaanisen energian sähköenergiaksi tai sähköenergian mekaaniseksi energiaksi. Siksi niitä käytetään laajalti antureissa, kuten paineantureissa, kiihtyvyysantureissa, lämpötila-antureissa ja niin edelleen. Lisäksi litiumniobaatti-pietsosähköistä kalvoa voidaan käyttää myös akustisissa laitteissa ja tärinälaitteissa, kuten pietsosähköisissä keraamisissa antureissa ja monimutkaisissa pietsosähköisissä keraamisissa suodattimissa.
2. Yksi litiumniobaatti-pietsosähköisen kalvon eduista on sen stabiilius. Kiteisen rakenteensa vakauden ja kemiallisen inertiansa ansiosta litiumniobaatti-pietsosähköinen kalvo kestää korkeita lämpötiloja, korkeaa kosteutta, vahvoja happoja, vahvoja emäksiä ja muita ankaria ympäristöjä, ja sillä on hyvä korroosionkestävyys ja kestävyys.
3-litiumniobaatti-pietsosähköinen kalvo on uusi pietsosähköinen materiaali, jolla on erinomainen suorituskyky ja stabiilius, ja jolla on laaja sovellusmahdollisuus. Tieteen ja teknologian jatkuvan kehityksen myötä litiumniobaatti-pietsosähköistä kalvoa aletaan käyttää yhä useammassa kaupungissa, mikä tuo lisää mukavuutta ja innovaatioita ihmisten elämään.
Yksityiskohtainen kaavio
