6 tuuman N-tyypin tai P-tyypin piikiekko CZ Si -kiekko
Esittele kiekkorasia
Piikiekkojen tekniset tiedot:
6 tuuman piikiekkojen kasvu: CZ, MCZ, FZ.
6 piikiekkojen laatuluokkaa: Prime, Test, Dummy jne.
6 tuuman piikiekon halkaisija: 6 tuumaa / 150 mm.
6 tuuman piikiekon paksuus: 200 ~ 3000 µm.
6 tuuman piikiekon viimeistely: leikattu, limitetty, syövytetty, SSP, DSP jne.
6 tuuman piikiekon suunta: (100) (111) (110) (531) (553) jne.
6 tuuman piikiekko Leikkauskulma: jopa 4 astetta.
6 tuuman piikiekon tyyppi/seosaine: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, luonnostaan。
6 tuuman piikiekon resistiivisyys: CZ/MCZ: 0,001 - 1000 ohm-cm. FZ: jopa 20k ohm-cm.
6 tuuman piikiekko-ohutkalvot: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. jne. Pinnoitteen paksuus jopa 20 000 A / 5 %.
(b) LPCVD/PECVD: Oksidi, nitridi, piikarbidi jne. Pinnoitteen paksuus jopa 200 000 A / 3 %.
(c) Piiepitaksiaaliset kiekot ja epitaksiaaliset palvelut (SOS, GaN, GOI jne.).
6 tuuman piikiekkojen prosessit: a.DSP, erittäin ohut, erittäin tasainen jne.
b. Pienentäminen, vastahionta, kuutiointi jne. c. MEMS.
Vuodesta 2010 lähtien Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd on sitoutunut tarjoamaan asiakkaille kattavia 4-tuumaisten piikiekkojen ratkaisuja, aina virheenkorjaustason kiekoista (Dummy Wafer), testitason kiekoista (Test Wafer) tuotetason kiekkoihin (Prime Wafer). Valikoimastamme löytyy myös erikoiskiekkoja, oksidikiekkoja (Oxide), nitridikiekkoja (Si3N4), alumiinipinnoitettuja kiekkoja, kuparipinnoitettuja piikiekkoja, SOI-kiekkoja, MEMS-lasia, räätälöityjä erittäin paksuja ja erittäin litteitä kiekkoja jne. Koot vaihtelevat 50 mm:stä 300 mm:iin. Tarjoamme myös puolijohdekiekkoja yksi- ja kaksipuolisella kiillotuksella, ohennuksella, kuutioinnilla, MEMS-käsittelyllä ja muilla käsittely- ja räätälöintipalveluilla.
Yksityiskohtainen kaavio


