8 tuuman piikarbidi Tuotantolaatuinen kiekko 4H-N SiC-substraatti

Lyhyt kuvaus:

8 tuuman SiC-substraatteja käytetään suuritehoisissa elektronisissa laitteissa, kuten teho-MOSFET:issä (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky-diodeissa ja muissa tehopuolijohdelaiteissa.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Seuraava taulukko näyttää 8 tuuman SiC-kiekkojen tekniset tiedot:

8 tuuman N-tyypin SiC DSP:n tekniset tiedot
Määrä	Tuote	Yksikkö	Tuotanto	Tutkimus	Nukke
1: parametrit
1.1	polytyyppi	--	4H	4H	4H
1.2	pinnan suuntaus	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Sähköinen parametri
2.1	seostusaine	--	n-tyypin typpi	n-tyypin typpi	n-tyypin typpi
2.2	vastus	ohm · cm	0,015-0,025	0,01-0,03	NA
3: Mekaaninen parametri
3.1	halkaisija	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	paksuus	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Lovisuuntaus	°	[1-100]±5	[1-100]±5	[1-100]±5
3.4	Lovi syvyys	mm	1-1,5	1-1,5	1-1,5
3.5	LTV	μm	≤5 (10mm*10mm)	≤5 (10mm*10mm)	≤10 (10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Keula	μm	-25-25	-45-45	-65-65
3.8	Loimi	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Rakenne
4.1	mikroputkien tiheys	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metallipitoisuus	atomia/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10 000	NA
5.Etulaatu
5.1	edessä	--	Si	Si	Si
5.2	pintakäsittely	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	hiukkanen	ea/vohveli	≤100 (koko ≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	naarmuuntua	ea/vohveli	≤5, kokonaispituus≤200mm	NA	NA
5.5	Reuna lastut/syvennykset/halkeamat/tahrat/kontaminaatio	--	Ei mitään	Ei mitään	NA
5.6	Polytyyppialueet	--	Ei mitään	Pinta-ala ≤10 %	Pinta-ala ≤30 %
5.7	etumerkintä	--	Ei mitään	Ei mitään	Ei mitään
6: Takana laatu
6.1	takaviimeistely	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	naarmuuntua	mm	NA	NA	NA
6.3	Takaosan reunavirheitä sirut/sisennykset	--	Ei mitään	Ei mitään	NA
6.4	Selän karheus	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Takana merkintä	--	Lovi	Lovi	Lovi
7: reuna
7.1	reuna	--	Viiste	Viiste	Viiste
8: Paketti
8.1	pakkaus	--	Epi-valmis tyhjiöllä pakkaus	Epi-valmis tyhjiöllä pakkaus	Epi-valmis tyhjiöllä pakkaus
8.2	pakkaus	--	Monilevyinen kasetin pakkaus	Monilevyinen kasetin pakkaus	Monilevyinen kasetin pakkaus