8 tuuman piikarbidituotantolaatuinen kiekko 4H-N piikarbidi-substraatti
Seuraava taulukko näyttää 8 tuuman piikarbidilevyjemme tekniset tiedot:
| 8 tuuman N-tyypin SiC DSP:n tekniset tiedot | |||||
| Määrä | Tuote | Yksikkö | Tuotanto | Tutkimus | Nukke |
| 1:parametrit | |||||
| 1.1 | polytyyppi | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | pinnan suunta | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Sähköinen parametri | |||||
| 2.1 | lisäaine | -- | n-tyypin typpi | n-tyypin typpi | n-tyypin typpi |
| 2.2 | resistiivisyys | ohmia ·cm | 0,015–0,025 | 0,01–0,03 | NA |
| 3: Mekaaninen parametri | |||||
| 3.1 | halkaisija | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | paksuus | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Loven suunta | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Loven syvyys | mm | 1–1,5 | 1–1,5 | 1–1,5 |
| 3.5 | Elinaika-arvo | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Keula | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Loimi | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Rakenne | |||||
| 4.1 | mikroputkien tiheys | kpl/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metallipitoisuus | atomia/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | kpl/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD-oireyhtymä | kpl/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | kpl/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Etuosan laatu | |||||
| 5.1 | etuosa | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | pinnan viimeistely | -- | Si-pinnan CMP | Si-pinnan CMP | Si-pinnan CMP |
| 5.3 | hiukkanen | ea/kiekko | ≤100 (koko ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | raaputa | ea/kiekko | ≤5, kokonaispituus ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Reuna sirut/kolhut/halkeamat/tahrat/likaantuminen | -- | Ei mitään | Ei mitään | NA |
| 5.6 | Polytyyppialueet | -- | Ei mitään | Pinta-ala ≤10 % | Pinta-ala ≤30 % |
| 5.7 | etumerkintä | -- | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään |
| 6: Selän laatu | |||||
| 6.1 | takapinta | -- | C-pinnan MP | C-pinnan MP | C-pinnan MP |
| 6.2 | raaputa | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Takavikojen reuna sirut/painumat | -- | Ei mitään | Ei mitään | NA |
| 6.4 | Selän karheus | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Takamerkintä | -- | Lovi | Lovi | Lovi |
| 7:reuna | |||||
| 7.1 | reuna | -- | Viiste | Viiste | Viiste |
| 8: Paketti | |||||
| 8.1 | pakkaus | -- | Epi-valmis alipaineella pakkaus | Epi-valmis alipaineella pakkaus | Epi-valmis alipaineella pakkaus |
| 8.2 | pakkaus | -- | Monikiekko kasettipakkaus | Monikiekko kasettipakkaus | Monikiekko kasettipakkaus |
Yksityiskohtainen kaavio
Kirjoita viestisi tähän ja lähetä se meille