8 tuuman piikiekko P/N-tyyppinen (100) 1-100Ω vale-regenerointisubstraatti
Esittele kiekkorasia
8-tuumainen piikiekko on yleisesti käytetty piisubstraattimateriaali ja sitä käytetään laajalti integroitujen piirien valmistusprosessissa. Tällaisia piikiekkoja käytetään yleisesti erityyppisten integroitujen piirien, kuten mikroprosessorien, muistisirujen, anturien ja muiden elektronisten laitteiden, valmistukseen. 8-tuumaisia piikiekkoja käytetään yleisesti suhteellisen suurten sirujen valmistukseen, ja niiden etuihin kuuluvat suurempi pinta-ala ja kyky valmistaa useampia siruja yhdelle piikiekolle, mikä johtaa lisääntyneeseen tuotantotehokkuuteen. 8-tuumaisella piikiekolla on myös hyvät mekaaniset ja kemialliset ominaisuudet, mikä soveltuu laajamittaiseen integroitujen piirien tuotantoon.
Tuotteen ominaisuudet
8" P/N-tyyppi, kiillotettu piilevy (25 kpl)
Suunta: 200
Resistiivisyys: 0,1–40 ohm•cm (voi vaihdella erästä toiseen)
Paksuus: 725+/-20 um
Prime/Monitor/Test Grade
MATERIAALIN OMINAISUUDET
Parametri | Ominaisuus |
Tyyppi/Seosaine | P, Boori N, Fosfori N, Antimoni N, Arseeni |
Suuntaukset | <100>, <111> leikkaa suunnat asiakkaan eritelmien mukaan |
Happipitoisuus | 1019ppmA Mukautetut toleranssit asiakkaan erittelyn mukaan |
Hiilipitoisuus | < 0,6 ppmA |
MEKAANISET OMINAISUUDET
Parametri | Prime | Näyttö/Testi A | Testata |
Halkaisija | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Paksuus | 725±20µm (vakio) | 725±25µm (vakio) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (vakio) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Keula | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kääri | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Reunan pyöristys | SEMI-STD | ||
Merkintä | Vain ensisijainen puoliasunto, puoliperusasunnot Jeida-asunto, Notch |
Parametri | Prime | Näyttö/Testi A | Testata |
Etupuolen kriteerit | |||
Pinnan kunto | Kemiallinen mekaaninen kiillotus | Kemiallinen mekaaninen kiillotus | Kemiallinen mekaaninen kiillotus |
Pinnan karheus | < 2 Å | < 2 Å | < 2 Å |
Saastuminen Hiukkaset @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Usva, kuoppia Appelsiininkuori | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään |
Saha, merkit Juovat | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään |
Takapuolen kriteerit | |||
Halkeamat, variksenjalat, sahausjäljet, tahrat | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään |
Pinnan kunto | Kaustinen syövytetty |
Yksityiskohtainen kaavio


