Dia300x1.0mmt Paksuus Safiiri kiekko C-taso SSP/DSP
Esittele kiekkorasia
Kristallimateriaalit | 99,999 % Al2O3:a, erittäin puhdasta, monokiteistä, Al2O3 | |||
Kristallin laatu | Sulkeumat, lohkojäljet, kaksoset, väri, mikrokuplat ja hajotuskeskukset puuttuvat | |||
Halkaisija | 2 tuumaa | 3 tuumaa | 4 tuumaa | 6 tuumaa ~ 12 tuumaa |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100±0,3 mm | Vakiotuotannon määräysten mukaisesti | |
Paksuus | 430±15µm | 550±15 µm | 650±20µm | Asiakas voi räätälöidä |
Suuntautuminen | C-tasosta (0001) M-tasoon (1-100) tai A-tasoon (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° /0,3 ± 0,1°, R-taso (1-1 0 2), A-taso (1 1-2 0), M-taso (1-1 0 0), mikä tahansa suunta, mikä tahansa kulma | |||
Ensisijainen litteä pituus | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | Vakiotuotannon määräysten mukaisesti |
Ensisijainen tasainen suunta | A-taso (11-20) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Elinaika-arvo | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR- | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
KEULA | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Loimi | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Etupinta | Epi-kiillotettu (Ra< 0,2 nm) |
*Kaarre: Vapaan, kiinnittämättömän kiekon mediaanipinnan keskipisteen poikkeama referenssitasosta, jossa referenssitaso määritetään tasasivuisen kolmion kolmen kulman avulla.
*Vääristymä: Vapaan, kiinnittämättömän kiekon mediaanipinnan suurimman ja pienimmän etäisyyden ero edellä määritellystä referenssitasosta.
Korkealaatuiset tuotteet ja palvelut seuraavan sukupolven puolijohdelaitteisiin ja epitaksiaaliseen kasvuun:
Korkea tasaisuusaste (hallittu TTV, kaari, loimi jne.)
Korkealaatuinen puhdistus (vähäinen hiukkaskontaminaatio, vähäinen metallikontaminaatio)
Alustan poraus, uritus, leikkaus ja taustan kiillotus
Tietojen, kuten alustan puhtauden ja muodon, liittäminen (valinnainen)
Jos tarvitset safiirisubstraatteja, ota rohkeasti yhteyttä:
posti:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Palaamme asiaan mahdollisimman pian!
Yksityiskohtainen kaavio

