Korkean suorituskyvyn alumiinioksidikeraaminen efektori (haarukkavarsi) puolijohde- ja puhdastilaautomaatioon

Korkean suorituskyvyn alumiinioksidikeraaminen päätyefektori (haarukkavarsi) puolijohde- ja puhdastilaautomaatioon Esittelykuva

Lyhyt kuvaus:

Alumiinioksidikeraaminen efektori, jota kutsutaan myös keraamiseksi haarukkavarreksi tai robottikeraamiseksi kädeksi, on erittäin tarkka käsittelykomponentti, joka on suunniteltu automatisoituihin järjestelmiin puolijohde-, aurinkosähkö-, paneelinäyttö- ja erittäin puhtaissa laboratorioympäristöissä. Se on suunniteltu tarjoamaan poikkeuksellista lämpöstabiilisuutta, mekaanista jäykkyyttä ja kemikaalien kestävyyttä, mikä mahdollistaa herkkien materiaalien, kuten piikiekkojen, lasialustojen ja elektronisten mikrokomponenttien, puhtaan, luotettavan ja turvallisen kuljetuksen.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Tuotteen esittely

Eräänlaisena robottikäyttöisenä pääteefektorina tämä keraaminen komponentti on viimeinen rajapinta automaatiojärjestelmän ja työkappaleen välillä. Sillä on ratkaiseva rooli tarkkuussiirrossa, kohdistuksessa, lastauksessa/purussa ja asemointitehtävissä puhdastiloissa ja tyhjiöympäristöissä.

Keraaminen varsi puolijohteiden kiekkojen käyttöön-G13

Keraaminen varsi puolijohteiden kiekkojen käyttöön-G10

Keraaminen varsi puolijohteiden kiekkojen käyttöön-G07

Materiaaliyleiskatsaus – alumiinioksidikeramiikka (Al₂O₃)

Alumiinioksidikeraaminen on erittäin stabiili ja kemiallisesti inertti tekninen keraaminen materiaali, joka tunnetaan erinomaisista mekaanisista ja sähköisistä ominaisuuksistaan. Näissä pääteefektoreissa käytetty erittäin puhdas (≥ 99,5 %) alumiinioksidi varmistaa:

Korkea kovuus (Mohs 9)Timantin jälkeen toiseksi paras alumiinioksidi tarjoaa äärimmäisen kulutuskestävyyden.
Korkean lämpötilan kestävyysSäilyttää rakenteellisen eheyden yli 1600 °C:ssa.
Kemiallinen inerttiysKestää happoja, emäksiä, liuottimia ja plasmaetsausympäristöjä.
SähköeristysKorkea dielektrinen lujuus ja pieni dielektrinen häviö.
Alhainen lämpölaajeneminenVarmistaa mittapysyvyyden lämpövaihteluympäristöissä.
Alhainen hiukkasten muodostuminenVälttämätön puhdastilan yhteensopivuuden kannalta (luokka 10–1000).

Nämä ominaisuudet tekevät alumiinioksidikeramiikasta ihanteellisen vaihtoehdon kriittisiin toimintoihin kontaminaatioherkillä teollisuudenaloilla.

Toiminnalliset sovellukset

Alumiinioksidikeraaminen efektoripääte on laajalti käytössä korkean teknologian teollisuusprosesseissa, erityisesti silloin, kun perinteiset metalli- tai muovimateriaalit eivät sovellu lämpölaajenemisen, kontaminaation tai korroosion vuoksi. Keskeisiä sovellusalueita ovat:

Puolijohdekiekkojen siirto
Fotolitografian lastaus- ja purkujärjestelmät
Lasisubstraatin käsittely OLED- ja LCD-linjoissa
Kiteisen piikiekon siirto aurinkokennojen tuotannossa
Automaattinen optinen tai mikroelektroninen tarkastus
Näytteen kuljetus analyyttisissä tai biolääketieteellisissä laboratorioissa
Tyhjiöympäristön automaatiojärjestelmät

Sen kyky toimia ilman hiukkasten tai staattisen varauksen aiheuttamista tekee siitä välttämättömän tarkkojen robottitoimintojen kannalta puhdastilojen automaatiossa.

Suunnitteluominaisuudet ja räätälöinti

Jokainen keraaminen pääteefektori on suunniteltu sopimaan tiettyyn robottikäsivarteen tai kiekkojen käsittelyjärjestelmään. Tuemme täydellistä räätälöintiä seuraavien tekijöiden perusteella:

Kiekkojen koon yhteensopivuus: 2", 4", 6", 8", 12" ja enemmän
Uran geometria ja välitSopii reunaotteeseen, takapuolen tukeen tai lovitettuihin kiekkorakenteisiin
ImuportitIntegroidut tyhjiöreiät tai -kanavat kosketuksetonta käsittelyä varten
AsennuskonfiguraatioReiät, kierteet ja urat, jotka on räätälöity robottisi päätytyökalun laippaan
PintakäsittelyKiillotettu, läpätty tai hienohiottu pinta (saatavilla Ra < 0,2 µm)
ReunasuojausPyöristetyt kulmat tai viisteet kiekkojen vaurioiden välttämiseksi

Käyttämällä asiakkaiden toimittamia CAD-piirustuksia tai 3D-malleja insinöörimme voivat optimoida jokaisen haarukan painon, lujuuden ja puhtauden suhteen.

fi_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keraamisten päätyefektorien edut

Ominaisuus	Hyöty
Korkea mekaaninen jäykkyys	Säilyttää mittatarkkuuden robottien kuormitusvoimien alla
Erinomainen lämmöneristyskyky	Toimii luotettavasti korkeissa lämpötiloissa tai plasmaympäristöissä
Nolla metallikontaminaatiota	Ei ionikontaminaation riskiä kriittisessä puolijohdekäsittelyssä
Alhainen kitkapinta	Vähentää kiekko- tai lasialustojen naarmuuntumisriskiä
Antistaattinen ja ei-magneettinen	Ei kerää pölyä eikä vaikuta magneettisesti herkkiin komponentteihin
Pitkä käyttöikä	Erinomainen kulutuskestävyys toistuvissa suurnopeuksisissa automaatiosykleissä
Erittäin puhdas yhteensopivuus	Sopii ISO 14644 -standardin mukaisiin puhdastiloihin (luokka 100 ja sitä alhaisemmat)

Muovi- tai alumiinivarsiin verrattuna alumiinioksidikeramiikka tarjoaa huomattavasti paremman kemiallisen ja fysikaalisen vakauden ja minimaaliset huoltotarpeet.

Kiinteistö	Metallinen käsivarsi	Muovinen varsi	Alumiinioksidikeraaminen varsi
Kovuus	Kohtalainen	Matala	Erittäin korkea (Mohsin asteikko 9)
Lämpöstabiilius	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Kemiallinen kestävyys	Kohtalainen	Huono	Erinomainen
Puhdastilan soveltuvuus	Keskikokoinen	Matala	Erittäin korkea
Kulutuskestävyys	Keskikokoinen	Matala	Erinomainen
Läpilyöntilujuus	Matala	Keskikokoinen	Korkea
Tarkkuus räätälöidyssä koneistuksessa	Rajoitettu	Kohtalainen	Korkea (±0,01 mm mahdollinen)

Tekniset tiedot

Parametri	Arvo
Materiaali	Erittäin puhdasta alumiinioksidia (≥ 99,5 %)
Käyttölämpötila	Jopa 1600 °C
Pinnan karheus	Ra ≤ 0,2 µm (valinnainen)
Yhteensopivat kiekkokoot	2–12 tuumaa tai mukautettu
Tasaisuuden toleranssi	±0,01 mm (käyttökohteesta riippuen)
Imuimun tuki	Valinnaiset, mukautettavat kanavat
Kiinnitysvaihtoehdot	Läpipultattavat, laippaiset, uritetut reiät

Usein kysytyt kysymykset (UKK)

K1: Voidaanko pääteefektori integroida olemassa oleviin robottijärjestelmiin?
A1:Kyllä. Tuemme räätälöintiä robottirajapintasi perusteella. Voit lähettää meille CAD-piirustuksen tai laipan mitat tarkkaa mukauttamista varten.

K2: Rikkoutuvatko keraamiset varret helposti käytön aikana?
A2:Vaikka keramiikka on luonnostaan haurasta, suunnittelussamme käytetään optimoitua geometriaa jännityskeskittymisen minimoimiseksi. Oikeissa käyttöolosuhteissa ne tarjoavat huomattavasti pidemmän käyttöiän kuin metalli tai muovi.

K3: Onko tätä mahdollista käyttää erittäin korkeavakuumi- tai plasmaetsauskammioissa?
A3:Kyllä. Alumiinioksidikeramiikka ei vapauda kaasua, on termisesti stabiili ja korroosionkestävä – se sopii täydellisesti korkeatyhjiö-, reaktiivisen kaasun tai plasmaympäristöihin.

K4: Miten näitä komponentteja puhdistetaan tai huolletaan?
A4:Ne voidaan puhdistaa deionisoidulla vedellä, alkoholilla tai puhdastilayhteensopivilla pesuaineilla. Niiden kemiallinen stabiilius ja inertti pinta eivät vaadi erityistä huoltoa.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.