LiTaO3-kiekko 2–8 tuumaa 10x10x0,5 mm 1 sp 2 sp 5G/6G-tiedonsiirtoon
Tekniset parametrit
Nimi | Optista laatua oleva LiTaO3 | Äänipöydän taso LiTaO3 |
Aksiaalinen | Z-leikkaus + / - 0,2 ° | 36° Y-leikkaus / 42° Y-leikkaus / X-leikkaus (+ / - 0,2°) |
Halkaisija | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm tai 150 ± 0,5 mm |
Perustaso | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Paksuus | 500 µm +/- 5 mm 1000 µm +/- 5 mm | 500 µm +/- 20 mm 350 µm +/- 20 mm |
TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
Curie-lämpötila | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA-menetelmä) | 605 °C + / -3 °C (DTA-menetelmä |
Pinnan laatu | Kaksipuolinen kiillotus | Kaksipuolinen kiillotus |
Viistetyt reunat | reunan pyöristys | reunan pyöristys |
Keskeiset ominaisuudet
1. Sähköinen ja optinen suorituskyky
· Sähköoptinen kerroin: r33 saavuttaa 30 pm/V (X-leikkaus), 1,5 × korkeampi kuin LiNbO3, mikä mahdollistaa erittäin laajakaistaisen sähköoptisen moduloinnin (>40 GHz:n kaistanleveys).
· Laaja spektrivaste: Läpäisyalue 0,4–5,0 μm (8 mm:n paksuus), ultraviolettisäteilyn absorptioreuna jopa 280 nm, ihanteellinen UV-lasereille ja kvanttipisteille.
· Alhainen pyroelektrinen kerroin: dP/dT = 3,5 × 10⁻⁴ C/(m²·K), mikä varmistaa vakauden korkean lämpötilan infrapuna-antureissa.
2. Lämpö- ja mekaaniset ominaisuudet
· Korkea lämmönjohtavuus: 4,6 W/m·K (X-cut), nelinkertainen kvartsiin verrattuna, kestää -200–500 °C:n lämpövaihtelut.
· Alhainen lämpölaajenemiskerroin: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), yhteensopiva silikonipakkausten kanssa lämpöjännityksen minimoimiseksi.
3. Vianmääritys ja käsittelyn tarkkuus
· Mikroputken tiheys: <0,1 cm⁻² (8 tuuman kiekot), dislokaatiotiheys <500 cm⁻² (varmistettu KOH-etsauksella).
· Pinnanlaatu: CMP-kiillotettu Ra <0,5 nm:iin, täyttää EUV-litografiatason tasaisuusvaatimukset.
Keskeiset sovellukset
Verkkotunnus | Sovellusskenaariot | Tekniset edut |
Optinen tietoliikenne | 100G/400G DWDM-laserit, piifotoniikan hybridimoduulit | LiTaO3-kiekon laaja spektrinen läpäisykyky ja pieni aaltojohdehäviö (α <0,1 dB/cm) mahdollistavat C-kaistan laajennuksen. |
5G/6G-viestintä | SAW-suodattimet (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR-suodattimet | 42° Y-leikattujen kiekkojen Kt²-arvo on >15 %, mikä takaa pienen väliinkytkentähäviön (<1,5 dB) ja suuren vaimennusvaikutuksen (>30 dB). |
Kvanttiteknologiat | Yksittäisfotoni-ilmaisimet, parametriset alasmuunnoslähteet | Korkea epälineaarinen kerroin (χ(2) = 40 pm/V) ja alhainen tummalaskentanopeus (<100 laskua/s) parantavat kvanttitarkkuutta. |
Teollisuuden anturit | Korkean lämpötilan paineanturit, virtamuuntajat | LiTaO3-kiekon pietsosähköinen vaste (g33 >20 mV/m) ja korkean lämpötilan kestävyys (>400 °C) sopivat äärimmäisiin olosuhteisiin. |
XKH-palvelut
1. Mittatilaustyönä valmistettujen kiekkojen valmistus
· Koko ja leikkaus: 2–8 tuuman kiekot X/Y/Z-leikkauksella, 42° Y-leikkauksella ja räätälöidyillä kulmaleikkauksilla (±0,01° toleranssi).
· Dopingin valvonta: Fe- ja Mg-doping Czochralskin menetelmällä (pitoisuusalue 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) sähköoptisten kertoimien ja lämpöstabiilisuuden optimoimiseksi.
2. Edistyneet prosessiteknologiat
· Periodic Poling (PPLT): Smart-Cut-tekniikka LTOI-kiekoille, jolla saavutetaan ±10 nm:n jaksotarkkuus ja lähes vaihesovitettu (QPM) taajuusmuunnos.
· Heterogeeninen integrointi: Pi-pohjaiset LiTaO3-komposiittikiekot (POI), joiden paksuus on säädettävissä (300–600 nm) ja lämmönjohtavuus jopa 8,78 W/m·K korkeataajuisille SAW-suodattimille.
3. Laadunhallintajärjestelmät
· Kokonaisvaltainen testaus: Raman-spektroskopia (polytyypin varmistus), XRD (kiteisyys), AFM (pinnan morfologia) ja optisen tasaisuuden testaus (Δn <5×10⁻⁵).
4. Globaalin toimitusketjun tuki
· Tuotantokapasiteetti: Kuukausittainen tuotanto >5 000 kiekkoa (8 tuumaa: 70 %), 48 tunnin hätätoimitus.
· Logistiikkaverkosto: Kattaa Euroopan, Pohjois-Amerikan ja Aasian ja Tyynenmeren alueen lento-/merirahtina lämpötilasäädellyillä pakkauksilla.


