N-tyypin piikarbidi piikomposiittialustoilla, halkaisija 6 tuumaa
| 等级Luokka | U 级 | P级 | D级 |
| Matala BPD-luokka | Tuotantoluokka | Nuken luokka | |
| 直径Halkaisija | 150,0 mm ± 0,25 mm | ||
| 厚度Paksuus | 500 μm ± 25 μm | ||
| 晶片方向Kiekkojen suunta | Akselin ulkopuolella: 4,0° kohti < 11-20 > ±0,5° 4H-N:lle Akselin varrella: <0001> ±0,5° 4H-SI:lle | ||
| 主定位边方向Pääasunto | {10–10}±5,0° | ||
| 主定位边长度Ensisijainen tasainen pituus | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||
| 边缘Reunojen poissulkeminen | 3 mm | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/jousi /loimi | ≤15 μm / ≤40 μm / ≤60 μm | ||
| 微管密度和基面位错MPD ja BPD | MPD≤1 cm⁻² | MPD≤5 cm⁻² | MPD≤15 cm⁻² |
| BPD≤1000 cm⁻² | |||
| 电阻率Resistiivisyys | ≥1E5 Ω·cm | ||
| 表面粗糙度Karheus | Puolan Ra≤1 nm | ||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | Ei mitään | Kumulatiivinen pituus ≤10 mm, yksittäinen pituus ≤2 mm | |
| Halkeamat voimakkaan valon vaikutuksesta | |||
| 六方空洞（强光灯观测）* | Kumulatiivinen pinta-ala ≤1% | Kumulatiivinen pinta-ala ≤5% | |
| Kuusikulmaiset levyt voimakkaalla valolla | |||
| 多型(强光灯观测)* | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤5% | |
| Polytyyppialueet voimakkaalla valolla | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 3 naarmua 1 × kiekon halkaisijaan | 5 naarmua 1 × kiekon halkaisijaan | |
| Naarmut voimakkaan valon vaikutuksesta | kumulatiivinen pituus | kumulatiivinen pituus | |
| 崩边# Reunasiru | Ei mitään | 5 sallittua, ≤1 mm kukin | |
| 表面污染物（强光灯观测） | Ei mitään | ||
| Kontaminaatio voimakkaalla valolla | |||
Yksityiskohtainen kaavio
