Kuvioidut safiirialustat PSS 2 tuuman 4 tuuman 6 tuuman ICP: n kuiva etsaus voidaan käyttää LED -siruihin
Ydinominaisuus
1. Materiaaliominaisuudet: Substraattimateriaali on yksikiteinen safiiri (al₂o₃), jolla on suuri kovuus, korkea lämpövastus ja kemiallinen stabiilisuus.
2. Pintarakenne: Pinta muodostuu fotolitografialla ja syövyttämällä jaksollisiin mikro-nanorakenteisiin, kuten kartioihin, pyramidiin tai kuusikulmaisiin ryhmiin.
3. Optinen suorituskyky: Pintakuvioiden suunnittelun kautta valon kokonaisheijastus rajapinnassa vähenee ja valon uuttamisen tehokkuutta paranee.
4. Lämpö suorituskyky: Safiirisubstraatilla on erinomainen lämmönjohtavuus, joka sopii suuritehoisiin LED -sovelluksiin.
5. Koko -eritelmät: Yleiset koot ovat 50,8 mm: n 2 tuumaa, 4 tuumaa (100 mm) ja 60 mm).
Pääsovellusalueet
1. LED -valmistus:
Parannettu valon uuttamistehokkuus: PSS vähentää valonhukkaa kuviointisuunnittelun avulla, mikä parantaa merkittävästi LED -kirkkautta ja valotehokkuutta.
Parannettu epitaksiaalisen kasvun laatu: Kuvioitu rakenne tarjoaa paremman kasvupohjan GAN -epitaksiaalikerroksille ja parantaa LED -suorituskykyä.
2. Laser -diodi (LD):
Suuretehoiset laserit: PSS: n korkea lämmönjohtavuus ja stabiilisuus sopivat suuritehoisiin laser diodeihin, parantaen lämmön hajoamisen suorituskykyä ja luotettavuutta.
Matala kynnysvirta: Optimoi epitaksiaalisen kasvun, vähennä laser diodin kynnysvirtaa ja paranna tehokkuutta.
3. Photodetector:
Suuri herkkyys: PSS: n korkea valonsiirto ja pieni vikatiheys parantavat valodetektorin herkkyyttä ja vasteenopeutta.
Laaja spektrivaste: Soveltuu fotoelektriseen havaitsemiseen ultravioletissa näkyvään alueeseen.
4. Power Electronics:
Korkeajännitekestävyys: Safiirin korkea eristys ja lämpöstabiilisuus sopivat korkeajännitehallille.
Tehokas lämmön hajoaminen: Korkea lämmönjohtavuus parantaa voimalaitteiden lämmön hajoamista ja pidentää käyttöiän käyttöä.
5. RF -laitteet:
Korkea taajuussuorituskyky: PSS: n matala dielektrinen häviö ja korkea lämpöstabiilisuus sopivat korkeataajuisiin RF -laitteisiin.
Matala melu: Korkea tasaisuus ja alhainen viatiheys vähentävät laitteen kohinaa ja parantavat signaalin laatua.
6. Biosensorit:
Korkea herkkyyden havaitseminen: PSS: n korkea valonsiirto ja kemiallinen stabiilisuus sopivat suureen herkkyysbiosensoriin.
Bioyhteensopivuus: Safiirin biologinen yhteensopivuus tekee siitä sopivan lääketieteellisiin ja biodection -sovelluksiin.
Kuvioitu safiirisubstraatti (PSS) GAN -epitaksiaalimateriaalilla:
Kuvioitu safiirisubstraatti (PSS) on ihanteellinen substraatti GaN (galliumnitridi) epitaksiaaliselle kasvulle. Safiirin hilavakio on lähellä GAN: ta, mikä voi vähentää hilan epäsuhta ja epitaksiaalisen kasvun puutteet. PSS-pinnan mikro-nano-rakenne ei vain paranna valon uuttamistehokkuutta, vaan myös parantaa GAN-epitaksiaalikerroksen kidelaatua parantaen siten LED: n suorituskykyä ja luotettavuutta.
Tekniset parametrit
Esine | Kuvioitu safiirialusta (2 ~ 6 tuumaa) | ||
Halkaisija | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Paksuus | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Pintasuunta | C-taso (0001) kulmakulma kohti m-akselia (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-taso (0001) kulmakulma kohti A-akselia (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Ensisijainen tasainen suunta | A-taso (11-20) ± 1,0 ° | ||
Ensisijainen tasainen pituus | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-tason | 9-vuotiaat | ||
Etupinta | Kuviollinen | ||
Takapinta | SSP: hieno-maa, RA = 0,8-1,2um; DSP: Epi-kiillotettu, RA <0,3 nm | ||
Lasermerkki | Takaosa | ||
TTV | ≤8μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
KEULA | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
LOIMI | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
Syrjäytyminen | ≤2 mm | ||
Kuvion määritys | Muodon rakenne | Kupoli, kartio, pyramidi | |
Kuvion korkeus | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
Kuvion halkaisija | 2,75 ~ 2,85 μm | ||
Kuviotila | 0,1 ~ 0,3 μm |
XKH on erikoistunut korkealaatuisten, räätälöityjen kuvioitujen safiirisubstraattien (PSS) tarjoamiseen teknisen tuen ja myynnin jälkeisen palvelun avulla, jotta asiakkaat auttavat saavuttamaan tehokkaan innovaation LED-, näytön ja optoelektroniikan alalla.
1. Korkealaatuinen PSS -tarjonta: Kuvioidut safiirialustat erikokoisina (2 ", 4", 6 ") vastaamaan LED-, näyttö- ja optoelektronisia laitteita.
2. Räätälöity suunnittelu: Mukauta pintamikro-nano-rakenne (kuten kartio, pyramidi tai kuusikulmainen taulukko) asiakkaan on optimoida valon uuttamistehokkuus.
3. Tekninen tuki: Tarjoa PSS -sovellussuunnittelu, prosessien optimointi ja tekninen kuuleminen asiakkaiden parantamiseksi tuotteiden suorituskyvyn parantamiseksi.
4. Epitaksiaalikasvutuki: GAN-epitaksiaalimateriaaliin sovitettu PSS on korkealaatuisen epitaksiaalikerroksen kasvun varmistamiseksi.
5. Testaus ja sertifiointi: Tarjoa PSS -laadun tarkastusraportti varmistaaksesi, että tuotteet täyttävät teollisuusstandardit.
Yksityiskohtainen kaavio


