Kuvioitu safiiripohjainen PSS 2 tuuman 4 tuuman 6 tuuman ICP-kuivaetsaus voidaan käyttää LED-siruille
Ydinominaisuus
1. Materiaalin ominaisuudet: Alustamateriaali on yksikiteinen safiiri (Al₂O₃), jolla on korkea kovuus, korkea lämmönkestävyys ja kemiallinen stabiilius.
2. Pinnan rakenne: Pinta muodostetaan fotolitografialla ja etsauksella jaksollisiksi mikro-nanorakenteiksi, kuten kartioiksi, pyramideiksi tai kuusikulmaisiksi matriiseiksi.
3. Optinen suorituskyky: Pinnan kuvioinnin ansiosta valon kokonaisheijastus rajapinnassa vähenee ja valon poistotehokkuus paranee.
4. Lämpöominaisuudet: Safiirisubstraatilla on erinomainen lämmönjohtavuus, joka sopii suuritehoisiin LED-sovelluksiin.
5. Kokotiedot: Yleisimmät koot ovat 2 tuumaa (50,8 mm), 4 tuumaa (100 mm) ja 6 tuumaa (150 mm).
Tärkeimmät sovellusalueet
1. LEDien valmistus:
Parannettu valon poistotehokkuus: PSS vähentää valohäviötä kuvioinnin avulla, mikä parantaa merkittävästi LEDien kirkkautta ja valotehokkuutta.
Parannettu epitaksiaalisen kasvun laatu: Kuvioitu rakenne tarjoaa paremman kasvualustan GaN-epitaksiaalisille kerroksille ja parantaa LEDien suorituskykyä.
2. Laserdiodi (LD):
Suuritehoiset laserit: PSS:n korkea lämmönjohtavuus ja stabiilius sopivat suuritehoisille laserdiodeille, mikä parantaa lämmönpoistokykyä ja luotettavuutta.
Matala kynnysvirta: Optimoi epitaksiaalinen kasvu, pienennä laserdiodin kynnysvirtaa ja paranna hyötysuhdetta.
3. Valoilmaisin:
Korkea herkkyys: PSS:n korkea valonläpäisykyky ja alhainen vikatiheys parantavat valoilmaisimen herkkyyttä ja vasteaikaa.
Laaja spektrivaste: soveltuu fotoelektriseen havaitsemiseen ultravioletti- ja näkyvän valon alueella.
4. Tehoelektroniikka:
Korkea jännitekestävyys: Sapphiren korkea eristyskyky ja lämmönkestävyys sopivat korkeajännitteisille laitteille.
Tehokas lämmönpoisto: Korkea lämmönjohtavuus parantaa teholaitteiden lämmönpoistokykyä ja pidentää käyttöikää.
5. RF-laitteet:
Korkean taajuuden suorituskyky: PSS:n pieni dielektrinen häviö ja korkea terminen stabiilius sopivat korkeataajuisille RF-laitteille.
Matala kohina: Korkea tasaisuus ja alhainen vikatiheys vähentävät laitteen kohinaa ja parantavat signaalin laatua.
6. Biosensorit:
Herkkä havaitseminen: PSS:n korkea valonläpäisykyky ja kemiallinen stabiilius sopivat herkille biosensoreille.
Bioyhteensopivuus: Safiirin bioyhteensopivuus tekee siitä sopivan lääketieteellisiin ja biodetektiosovelluksiin.
Kuvioitu safiirisubstraatti (PSS) GaN-epitaksiaalimateriaalilla:
Kuvioitu safiirialusta (PSS) on ihanteellinen alusta GaN:n (galliumnitridi) epitaksiaalikasvulle. Safiirin hilavakio on lähellä GaN:ia, mikä voi vähentää hilarakenteiden epäsuhtaisuutta ja epitaksiaalikasvun virheitä. PSS-pinnan mikro-nanorakenne ei ainoastaan paranna valonpoiston tehokkuutta, vaan myös parantaa GaN:n epitaksiaalikerroksen kiteen laatua, mikä parantaa LEDin suorituskykyä ja luotettavuutta.
Tekniset parametrit
| Tuote | Kuvioitu safiiripohja (2–6 tuumaa) | ||
| Halkaisija | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Paksuus | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Pinnan suunta | C-tason (0001) sivuttaiskulma M-akselia kohti (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-tason (0001) epäkulma A-akselia kohti (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Ensisijainen tasainen suunta | A-taso (11-20) ± 1,0° | ||
| Ensisijainen tasainen pituus | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-taso | kello 9 | ||
| Etupinnan viimeistely | Kuviollinen | ||
| Takapinnan viimeistely | SSP: Hienoksi jauhettu, Ra = 0,8–1,2 µm; DSP: Epi-kiillotettu, Ra <0,3 nm | ||
| Lasermerkki | Takapuoli | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| KEULA | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| LOIMI | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Reunan poissulkeminen | ≤2 mm | ||
| Kuviomäärittely | Muotorakenne | Kupoli, kartio, pyramidi | |
| Kuvion korkeus | 1,6–1,8 μm | ||
| Kuvion halkaisija | 2,75–2,85 μm | ||
| Kuviotila | 0,1–0,3 μm | ||
XKH on erikoistunut tarjoamaan korkealaatuisia, räätälöityjä kuviollisia safiirialustoja (PSS) sekä teknistä tukea ja jälkimarkkinointipalvelua auttaakseen asiakkaita saavuttamaan tehokasta innovaatiota LED-, näyttö- ja optoelektroniikan alalla.
1. Korkealaatuinen PSS-tarvike: Kuvioidut safiiripinnat eri kokoisina (2", 4", 6") LED-, näyttö- ja optoelektronisten laitteiden tarpeisiin.
2. Räätälöity suunnittelu: Mukauta pinnan mikro-nanorakennetta (kuten kartio, pyramidi tai kuusikulmainen ryhmä) asiakkaan tarpeiden mukaan valon poistotehokkuuden optimoimiseksi.
3. Tekninen tuki: Tarjoaa PSS-sovellusten suunnittelua, prosessien optimointia ja teknistä konsultointia auttaakseen asiakkaita parantamaan tuotteiden suorituskykyä.
4. Epitaksiaalisen kasvun tuki: GaN-epitaksiaalimateriaaliin sovitettu PSS varmistaa korkealaatuisen epitaksiaalisen kerroksen kasvun.
5. Testaus ja sertifiointi: Toimita PSS:n laaduntarkastusraportti varmistaaksesi, että tuotteet täyttävät alan standardit.
Yksityiskohtainen kaavio
