PEEK-eriste puolijohdelaitteille

PEEK-eriste on edistynyt eristysratkaisu, joka on erityisesti suunniteltu puolijohdevalmistusympäristön vaativiin vaatimuksiin. Erittäin puhtaasta PEEK:stä (polyeetterieetteriketonista) valmistettu komponentti tarjoaa erinomaisen lämmöneristyksen, sähköeristyksen ja kemikaalien kestävyyden, joten se sopii erinomaisesti käytettäväksi plasmaetsauskammioissa, märkäpenkeissä, kiekkojen käsittelyjärjestelmissä ja muissa kriittisissä prosessimoduuleissa.