Ensiluokkaiset safiirinostintapit Yksikide Al₂O₃ kiekonnostintappi
Tekniset parametrit
| Kemiallinen koostumus | Al2O3 |
| Kovuus | 9Mohsin asteikko |
| Optinen luonne | Yksiaksiaalinen |
| Taitekerroin | 1,762–1,770 |
| Kahtaistaittuvuus | 0,008–0,010 |
| Dispersio | Matala, 0,018 |
| Kiilto | Lasiainen |
| Pleokroismi | Kohtalainen tai vahva |
| Halkaisija | 0,4–30 mm |
| Halkaisijatoleranssi | 0,004–0,05 mm |
| pituus | 2–150 mm |
| pituustoleranssi | 0,03–0,25 mm |
| Pinnan laatu | 40/20 |
| Pinnan pyöreys | 0,05 RZ |
| Mukautettu muoto | molemmat päät litteät, toinen pää punainen, molemmat päät punaiset, satulan tapit ja erikoismuodot |
Tärkeimmät ominaisuudet
1. Poikkeuksellinen kovuus ja kulutuskestävyys: Sapphire Lift Pins -pinnien Mohsin kovuusluokka on 9, joka on toiseksi paras vain timantille. Niiden kulutusominaisuudet ovat huomattavasti perinteisiä piikarbidi-, alumiinioksidikeraami- tai metalliseosvaihtoehtoja paremmat. Tämä äärimmäinen kovuus tarkoittaa merkittävästi vähentynyttä hiukkasten muodostumista ja huoltotarvetta, ja niiden käyttöikä on tyypillisesti 3–5 kertaa pidempi kuin perinteisillä materiaaleilla vastaavissa sovelluksissa.
2. Erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys: Sapphire Lift Pins -tapit on suunniteltu kestämään jatkuvaa käyttöä yli 1000 °C:n lämpötiloissa ilman heikkenemistä, ja ne säilyttävät mittapysyvyytensä ja mekaanisen lujuutensa vaativimmissakin lämpöprosesseissa. Tämä tekee niistä erityisen arvokkaita kriittisissä sovelluksissa, kuten kemiallisessa höyrypinnoituksessa (CVD), metalli-orgaanisessa kemiallisessa höyrypinnoituksessa (MOCVD) ja korkean lämpötilan hehkutusjärjestelmissä, joissa lämpölaajenemisen epäsuhta voi vaarantaa prosessisaannon.
3. Kemiallinen inerttiys: Yksikiteinen safiirirakenne osoittaa huomattavaa vastustuskykyä HF-hapolle, klooripohjaisille kemikaaleille ja muille puolijohdevalmistuksessa yleisesti esiintyville aggressiivisille prosessikaasuille. Tämä kemiallinen stabiilius varmistaa tasaisen suorituskyvyn plasmaympäristöissä ja estää pintavirheiden muodostumisen, jotka voisivat johtaa kiekkojen kontaminaatioon.
4. Vähäinen hiukkaskontaminaatio: Nämä nostotapit on valmistettu virheettömistä, erittäin puhtaista safiirikiteistä (tyypillisesti >99,99 %), ja niiden hiukkasten irtoaminen on vähäistä jopa pitkäaikaisen käytön jälkeen. Niiden huokoseton pintarakenne ja kiillotetut viimeistelyt täyttävät tiukimmatkin puhdastilavaatimukset, mikä parantaa suoraan prosessien saantoa edistyneessä solmupuolijohteiden valmistuksessa.
Tarkka työstö: Edistyksellisten timanttihionta- ja laserkäsittelytekniikoiden avulla Sapphire Lift Pins -nostotappeja voidaan valmistaa alle mikronin toleransseilla ja alle 0,05 μm Ra -pinnanlaadulla. Räätälöityjä geometrioita, kuten kapenevia profiileja, erikoiskärkien kokoonpanoja ja integroituja kohdistusominaisuuksia, voidaan suunnitella vastaamaan seuraavan sukupolven valmistuslaitteiden erityisiin kiekkojen käsittelyhaasteisiin.
Ensisijaiset sovellukset
1. Puolijohteiden valmistus: Safiirinostintapit ovat kriittisessä roolissa edistyneissä kiekkojen käsittelyjärjestelmissä, sillä ne tarjoavat luotettavaa tukea ja tarkkaa asemointia fotolitografian, etsauksen, pinnoituksen ja tarkastusprosessien aikana. Niiden terminen ja kemiallinen stabiilius tekee niistä erityisen arvokkaita EUV-litografiatyökaluissa ja edistyneissä pakkaussovelluksissa, joissa nanometritasolla saavutettava mittapysyvyys on olennaista.
2. LED-epitaksi (MOCVD): Galliumnitridissä (GaN) ja vastaavissa yhdistepuolijohde-epitaksiaalisissa kasvatusjärjestelmissä safiirinostopinnat tarjoavat vakaan kiekkojen tuen usein yli 1000 °C:n lämpötiloissa. Niiden safiirisubstraattien kanssa yhteensopivat lämpölaajenemisominaisuudet minimoivat kiekkojen kaareutumisen ja luistamisen muodostumisen epitaksiaalisen kasvatusprosessin aikana.
3. Aurinkosähköteollisuus: Tehokkaiden aurinkokennojen valmistuksessa hyödynnetään safiirin ainutlaatuisia ominaisuuksia korkean lämpötilan diffuusio-, sintraus- ja ohutkalvopinnoitusprosesseissa. Nastojen kulutuskestävyys on erityisen arvokasta massatuotantoympäristöissä, joissa komponenttien pitkäikäisyys vaikuttaa suoraan valmistuskustannuksiin.
4. Tarkkuusoptiikka ja elektroniikan prosessointi: Puolijohdesovellusten lisäksi safiirinostopinnejä käytetään herkkien optisten komponenttien, MEMS-laitteiden ja erikoisalustojen käsittelyssä, joissa kontaminaatioton käsittely ja naarmuuntumisen esto ovat kriittisiä. Niiden sähköeristysominaisuudet tekevät niistä ihanteellisia sovelluksiin, joissa on sähköstaattisesti herkkiä laitteita.
XKH:n safiirista valmistettujen nostotappien palvelut
XKH tarjoaa kattavaa teknistä tukea ja räätälöityjä ratkaisuja Sapphire-nostotappeihin:
1. Mukautetut kehityspalvelut
· Tuki mittasuhteiden, geometrian ja pintakäsittelyn mukauttamiseen
· Materiaalivalinta ja teknisten parametrien optimointisuositukset
· Yhteistyöhön perustuva tuotesuunnittelu ja simulointitodentaminen
2. Tarkkuusvalmistuskyvyt
· Tarkka työstö, jonka toleranssit on säädetty ±1 μm:n tarkkuudella
· Erikoiskäsittelyt, kuten peilikiillotus ja reunojen viisteytys
· Valinnaiset pinnanmuokkausratkaisut, kuten tarttumattomat pinnoitteet
3. Laadunvarmistusjärjestelmä
· Sisääntulevan materiaalin tarkastuksen ja prosessinohjauksen tarkka toteutus
· Täysiulotteinen optinen tarkastus ja pinnan morfologian analyysi
· Tuotesuorituskykytestausraporttien toimittaminen
4. Toimitusketjupalvelut
· Vakiotuotteiden nopea toimitus
· Avainasiakkaiden oma varastonhallinta
5. Tekninen tuki
· Sovellusratkaisujen konsultointi
· Nopea myynnin jälkeinen palvelu
Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia Sapphire Lift Pins -tuotteita ja ammattimaisia teknisiä palveluita, jotka täyttävät puolijohde-, LED- ja muiden edistyneiden teollisuudenalojen tiukat vaatimukset.
