SiC-keraaminen päätyefektorin käsittelyvarsi kiekkojen kuljetukseen

SiC-keraaminen päätyefektorin käsivarsi kiekkojen kuljetukseen Esitelty kuva

Lyhyt kuvaus:

LiNbO₃-kiekot edustavat integroidun fotoniikan ja tarkkuusakustiikan kultastandardia ja tarjoavat vertaansa vailla olevaa suorituskykyä nykyaikaisissa optoelektronisissa järjestelmissä. Johtavana valmistajana olemme hioneet näiden teknisten alustojen valmistuksen taitoa edistyneiden höyrynsiirron tasapainotustekniikoiden avulla, saavuttaen alan johtavan kiteisen täydellisyyden alle 50/cm² vikatiheyksillä.

XKH:n tuotantokapasiteetti kattaa halkaisijat 75 mm:stä 150 mm:iin, ja siinä on tarkka suuntausohjaus (X/Y/Z-leikkaus ±0,3°) ja erikoistuneet seostusvaihtoehdot, mukaan lukien harvinaisten maametallien käyttö. LiNbO₃-kiekkojen ainutlaatuinen ominaisuuksien yhdistelmä – mukaan lukien niiden huomattava r₃₃-kerroin (32±2 pm/V) ja laaja läpinäkyvyys lähi-UV:sta keski-infrapunaan – tekee niistä välttämättömiä seuraavan sukupolven fotonisille piireille ja korkeataajuuksisille akustisille laitteille.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

SiC-keraaminen päätyefektori Tiivistelmä

SiC (piikarbidi) -keraaminen efektori on kriittinen komponentti puolijohdevalmistuksessa ja edistyneissä mikrovalmistusympäristöissä käytettävissä tarkoissa kiekkojen käsittelyjärjestelmissä. Tämä erikoistunut efektori on suunniteltu täyttämään erittäin puhtaiden, korkeiden lämpötilojen ja erittäin vakaiden ympäristöjen vaativat vaatimukset, ja se varmistaa kiekkojen luotettavan ja kontaminaatiovapaan kuljetuksen tärkeiden tuotantovaiheiden, kuten litografian, etsauksen ja pinnoituksen, aikana.

Piikarbidin erinomaisten materiaaliominaisuuksien – kuten korkean lämmönjohtavuuden, äärimmäisen kovuuden, erinomaisen kemiallisen inertian ja minimaalisen lämpölaajenemisen – ansiosta piikarbidikeraaminen efektori tarjoaa vertaansa vailla olevan mekaanisen jäykkyyden ja mittapysyvyyden jopa nopeissa lämpövaihteluissa tai korroosiota aiheuttavissa prosessikammioissa. Sen alhainen hiukkasten muodostuminen ja plasmankestävyys tekevät siitä erityisen sopivan puhdastila- ja tyhjiökäsittelysovelluksiin, joissa kiekkojen pinnan eheyden säilyttäminen ja hiukkaskontaminaation vähentäminen ovat ensiarvoisen tärkeitä.

SiC-keraaminen päätyefektori Käyttökohde

1. Puolijohdekiekkojen käsittely

Piikarbidi-keraamisia pääteefektoreita käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa piikiekkojen käsittelyyn automatisoidussa tuotannossa. Nämä pääteefektorit asennetaan tyypillisesti robottikäsivarsiin tai tyhjiösiirtojärjestelmiin, ja ne on suunniteltu käsittelemään erikokoisia kiekkoja, kuten 200 mm:n ja 300 mm:n. Ne ovat välttämättömiä prosesseissa, kuten kemiallisessa höyrypinnoituksessa (CVD), fysikaalisessa höyrypinnoituksessa (PVD), etsauksessa ja diffuusiossa – joissa korkeat lämpötilat, tyhjiöolosuhteet ja syövyttävät kaasut ovat yleisiä. Piikarbidin poikkeuksellinen lämmönkestävyys ja kemiallinen stabiilius tekevät siitä ihanteellisen materiaalin kestämään tällaisia ankaria ympäristöjä ilman hajoamista.

2. Puhdastilan ja imurin yhteensopivuus

Puhdastila- ja tyhjiöympäristöissä, joissa hiukkaskontaminaatio on minimoitava, piikarbidikeramiikka tarjoaa merkittäviä etuja. Materiaalin tiheä ja sileä pinta estää hiukkasten muodostumista, mikä auttaa säilyttämään kiekkojen eheyden kuljetuksen aikana. Tämä tekee piikarbidista erityisen sopivia kriittisiin prosesseihin, kuten äärimmäiseen ultraviolettilitografiaan (EUV) ja atomikerroskasvatusmenetelmään (ALD), joissa puhtaus on ratkaisevan tärkeää. Lisäksi piikarbidin vähäinen kaasunmuodostus ja korkea plasmankestävyys takaavat luotettavan suorituskyvyn tyhjiökammioissa, mikä pidentää työkalujen käyttöikää ja vähentää huoltotarvetta.

3. Tarkat paikannusjärjestelmät

Tarkkuus ja vakaus ovat elintärkeitä edistyneissä kiekkojen käsittelyjärjestelmissä, erityisesti metrologiassa, tarkastus- ja kohdistuslaitteissa. Piikarbidikeramiikalla on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin ja suuri jäykkyys, minkä ansiosta päätyefektori säilyttää rakenteellisen tarkkuutensa jopa lämpövaihteluiden tai mekaanisen kuormituksen alaisena. Tämä varmistaa, että kiekot pysyvät tarkasti linjattuina kuljetuksen aikana, mikä minimoi mikronaarmujen, virhekohdistuksen tai mittausvirheiden riskin – tekijät, jotka ovat yhä kriittisempiä alle 5 nm:n prosessisolmuissa.

SiC-keraamisen efektorin ominaisuudet

1. Korkea mekaaninen lujuus ja kovuus

Piikarbidikerameereilla on poikkeuksellinen mekaaninen lujuus, jonka taivutuslujuus ylittää usein 400 MPa ja Vickersin kovuus yli 2000 HV. Tämä tekee niistä erittäin kestäviä mekaanista rasitusta, iskuja ja kulumista vastaan myös pitkäaikaisen käytön jälkeen. Piikarbidin korkea jäykkyys minimoi myös taipuman nopeiden kiekkojen siirtojen aikana, mikä varmistaa tarkan ja toistettavan paikannuksen.

2. Erinomainen lämmönkestävyys

Yksi piikarbidikeraamien arvokkaimmista ominaisuuksista on niiden kyky kestää erittäin korkeita lämpötiloja – usein jopa 1600 °C:n lämpötiloja inertissä ilmakehässä – menettämättä mekaanista eheyttä. Niiden alhainen lämpölaajenemiskerroin (~4,0 x 10⁻⁶ /K) varmistaa mittapysyvyyden lämpövaihteluissa, mikä tekee niistä ihanteellisia sovelluksiin, kuten CVD-, PVD- ja korkean lämpötilan hehkutusmenetelmiin.

SiC-keraamisen efektorin kysymyksiä ja vastauksia

K: Mitä materiaalia käytetään kiekkojen päätyefektorissa?

A：Kiekkojen päätyefektorit valmistetaan yleensä materiaaleista, joilla on korkea lujuus, lämpöstabiilius ja alhainen hiukkasten muodostuminen. Näistä piikarbidikeramit (SiC) ovat yksi edistyneimmistä ja suosituimmista materiaaleista. Piikarbidikeramit ovat erittäin kovia, lämpöstabiileja, kemiallisesti inerttejä ja kulutusta kestäviä, minkä ansiosta ne sopivat ihanteellisesti herkkien piikiekkojen käsittelyyn puhdastiloissa ja tyhjiöympäristöissä. Kvartsiin tai pinnoitettuihin metalleihin verrattuna piikarbidi tarjoaa erinomaisen mittapysyvyyden korkeissa lämpötiloissa eikä irtoa hiukkasia, mikä auttaa estämään kontaminaatiota.