SiC-keraaminen haarukkavarsi / päätyefektori – Edistynyttä tarkkuuskäsittelyä puolijohdevalmistukseen

Lyhyt kuvaus:

SiC-keraaminen haarukkavarsi, jota usein kutsutaan keraamiseksi pääteefektoriksi, on erittäin suorituskykyinen tarkkuuskäsittelykomponentti, joka on kehitetty erityisesti kiekkojen kuljetukseen, kohdistamiseen ja asemointiin huipputeknologian aloilla, erityisesti puolijohde- ja aurinkosähkötuotannossa. Tämä erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta valmistettu komponentti yhdistää poikkeuksellisen mekaanisen lujuuden, erittäin pienen lämpölaajenemisen ja erinomaisen lämmönsiirto- ja korroosionkestävyyden.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Tuotteen yleiskatsaus

Toisin kuin perinteiset alumiinista, ruostumattomasta teräksestä tai jopa kvartsista valmistetut pääteefektorit, piikarbidi-keraamiset pääteefektorit tarjoavat vertaansa vailla olevaa suorituskykyä tyhjiökammioissa, puhdastiloissa ja vaativissa käsittelyympäristöissä, mikä tekee niistä keskeisen osan seuraavan sukupolven kiekkojen käsittelyroboteissa. Kontaminaatiovapaan tuotannon ja tiukempien toleranssien kysynnän kasvaessa sirujen valmistuksessa keraamisten pääteefektorien käytöstä on nopeasti tulossa alan standardi.

Valmistusperiaate

ValmistusSiC-keraamiset päätyefektoritsisältää sarjan erittäin tarkkoja ja puhtaita prosesseja, jotka varmistavat sekä suorituskyvyn että kestävyyden. Tyypillisesti käytetään kahta pääprosessia:

Reaktiosidottu piikarbidi (RB-SiC)

Tässä prosessissa piikarbidijauheesta ja sideaineesta valmistettuun esimuotiin tunkeudutaan sulaa piitä korkeissa lämpötiloissa (~1500 °C), joka reagoi jäännöshiilen kanssa muodostaen tiheän ja jäykän SiC-Si-komposiitin. Tämä menetelmä tarjoaa erinomaisen mittahallinnan ja on kustannustehokas laajamittaisessa tuotannossa.

Paineena vapaasti sintrattu piikarbidi (SSiC)

SSiC valmistetaan sintraamalla erittäin hienoa ja puhdasta piikarbidijauhetta erittäin korkeissa lämpötiloissa (> 2000 °C) ilman lisäaineita tai sideainetta. Tuloksena on tuote, jonka tiheys on lähes 100 % ja jolla on piikarbidimateriaalien joukossa parhaat mekaaniset ja lämpöominaisuudet. Se sopii erinomaisesti erittäin kriittisiin kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Jälkikäsittely

Tarkkuus-CNC-työstöSaavuttaa korkean tasaisuuden ja yhdensuuntaisuuden.
Pinnan viimeistelyTimanttikiillotus vähentää pinnan karheutta <0,02 µm:iin.
TarkastusJokainen kappale tarkistetaan optisella interferometrialla, koordinaattimittauskoneella (CMM) ja rikkomattomalla testauksella.

Nämä vaiheet takaavat, ettäSiC-pääteefektoritarjoaa tasaisen kiekkojen sijoittelutarkkuuden, erinomaisen tasaisuuden ja minimaalisen hiukkasten muodostumisen.

Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

Ominaisuus	Kuvaus
Erittäin korkea kovuus	Vickers-kovuus > 2500 HV, kestää kulumista ja lohkeilua.
Alhainen lämpölaajeneminen	CTE ~4,5 × 10⁻⁶/K, mikä mahdollistaa mittapysyvyyden lämpökierron aikana.
Kemiallinen inerttiys	Kestää HF:ää, HCl:ää, plasmakaasuja ja muita syövyttäviä aineita.
Erinomainen lämpöshokin kestävyys	Soveltuu nopeaan lämmitykseen/jäähdytykseen tyhjiö- ja uunijärjestelmissä.
Korkea jäykkyys ja lujuus	Tukee pitkiä, ulokevarsia tukevia haarukanvarsia taipumatta.
Alhainen kaasunmuodostus	Ihanteellinen erittäin korkeavakuumiympäristöihin (UHV).
ISO-luokan 1 puhdastilavalmis	Hiukkaseton toiminta varmistaa kiekon eheyden.

Sovellukset

SiC-keraamista haarukkavartta/päätyefektoria käytetään laajalti teollisuudenaloilla, jotka vaativat äärimmäistä tarkkuutta, puhtautta ja kemikaalien kestävyyttä. Keskeisiä sovellusskenaarioita ovat:

Puolijohteiden valmistus

Kiekkojen lataus/purku pinnoitus- (CVD, PVD), etsaus- (RIE, DRIE) ja puhdistusjärjestelmissä.
Robottihiilikiekkojen siirto FOUPien, kasettien ja prosessityökalujen välillä.
Korkean lämpötilan käsittely lämpökäsittelyn tai hehkuttamisen aikana.

Aurinkosähkökennojen tuotanto

Hauraiden piikiekkojen tai aurinkoalustojen herkkä kuljetus automatisoiduilla linjoilla.

Litteänäyttöjen (FPD) teollisuus

Suurten lasipaneelien tai -alustojen siirtäminen OLED/LCD-tuotantoympäristöissä.

Yhdistepuolijohteet / MEMS

Käytetään GaN-, SiC- ja MEMS-valmistuslinjoilla, joissa kontaminaation hallinta ja paikannustarkkuus ovat ratkaisevan tärkeitä.

Sen päätyefektorin rooli on erityisen kriittinen virheettömän ja vakaan käsittelyn varmistamisessa herkissä toiminnoissa.

Mukautusominaisuudet

Tarjoamme laajan räätälöinnin vastaamaan vaihtelevia laite- ja prosessivaatimuksia:

Haarukan suunnitteluKaksipiikkiset, monisormiset tai kaksitasoiset asettelut.
Kiekkojen koon yhteensopivuus: 2–12 tuuman kiekot.
KiinnitysliitännätYhteensopiva alkuperäisten robottikäsivarsien kanssa.
Paksuus- ja pintatoleranssitMikronitason tasaisuus ja reunojen pyöristys saatavilla.
LiukuesteominaisuudetValinnaiset pintakuvioinnit tai pinnoitteet kiekkojen turvalliseen pitoon.

Jokainenkeraaminen päätyefektorion suunniteltu yhteistyössä asiakkaiden kanssa tarkan sovituksen varmistamiseksi ja minimaalisilla työkalumuutoksilla.

Usein kysytyt kysymykset (UKK)

K1: Miten piikarbidi (SiC) on kvartsia parempi päätelaitesovelluksessa?
A1:Vaikka kvartsia käytetään yleisesti sen puhtauden vuoksi, sillä ei ole mekaanista lujuutta ja se on altis rikkoutumiselle kuormituksen tai lämpötilashokkien aikana. Piikarbidi (SiC) tarjoaa erinomaisen lujuuden, kulutuskestävyyden ja lämpöstabiilisuuden, mikä vähentää merkittävästi seisokkiaikojen ja kiekkojen vaurioitumisen riskiä.

K2: Onko tämä keraaminen haarukkavarsi yhteensopiva kaikkien robottikiekkojen käsittelijöiden kanssa?
A2:Kyllä, keraamiset pääteefektorimme ovat yhteensopivia useimpien tärkeimpien kiekkojen käsittelyjärjestelmien kanssa, ja ne voidaan mukauttaa juuri sinun robottimalleihisi tarkkojen teknisten piirustusten avulla.

K3: Pystyykö se käsittelemään 300 mm:n kiekkoja vääntymättä?
A3:Ehdottomasti. Piikarbidin (SiC) suuri jäykkyys mahdollistaa sen, että jopa ohuet ja pitkät haarukkavarret pitävät 300 mm:n kiekkoja tukevasti paikallaan ilman, että ne painuvat tai taipuvat liikkeen aikana.

K4: Mikä on piikarbidikeraamisen efektorin tyypillinen käyttöikä?
A4:Oikein käytettynä piikarbidista valmistettu efektori voi kestää 5–10 kertaa pidempään kuin perinteiset kvartsi- tai alumiinimallit erinomaisen lämpö- ja mekaanisen rasituksenkestävyytensä ansiosta.

K5: Tarjoatteko korvaavia tuotteita tai nopeita prototyyppipalveluita?
A5:Kyllä, tuemme nopeaa näytteiden tuotantoa ja tarjoamme CAD-piirustuksiin tai olemassa olevista laitteista käänteisesti valmistettuihin osiin perustuvia korvauspalveluita.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.