Piikarbidikeraaminen tarjotinimuri Piikarbidikeraaminen putki toimittaa korkean lämpötilan sintrausta mukautettuun käsittelyyn

Lyhyt kuvaus:

Piikarbidikeraamiset alustat ja piikarbidikeraamiset putket ovat välttämättömiä korkean suorituskyvyn materiaaleja puolijohdevalmistuksessa. Piikarbidikeraamisia alustat käytetään pääasiassa kiekkojen kiinteiden ja laakereiden prosessoinnissa tarkkuusprosessien vakauden varmistamiseksi. Piikarbidikeraamisia putkia käytetään laajalti korkean lämpötilan uuniputkissa, diffuusiouunien putkissa ja muissa tilanteissa kestämään äärimmäisiä olosuhteita ja ylläpitämään tehokasta lämmönhallintaa. Molemmat perustuvat piikarbidiin ydinmateriaalina, josta on tullut keskeinen osa puolijohdeteollisuudessa erinomaisten fysikaalisten ja kemiallisten ominaisuuksiensa ansiosta.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Tärkeimmät ominaisuudet:

1. Piikarbidikeraaminen tarjotin
- Korkea kovuus ja kulutuskestävyys: kovuus on lähellä timanttia ja kestää mekaanista kulumista kiekkojen prosessoinnissa pitkään.
- Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin: nopea lämmönhukka ja mittapysyvyys, välttäen lämpöjännityksen aiheuttaman muodonmuutoksen.
- Korkea tasaisuus ja pinnanlaatu: Pinnan tasaisuus on jopa mikronitasoa, mikä varmistaa kiekon ja levyn välisen täyden kontaktin ja vähentää kontaminaatiota ja vaurioita.
Kemiallinen stabiilius: Vahva korroosionkestävyys, soveltuu märkäpuhdistukseen ja etsausprosesseihin puolijohdeteollisuudessa.
2. Piikarbidikeraaminen putki
- Korkean lämpötilan kestävyys: Se voi toimia korkeassa lämpötilassa yli 1600 °C:ssa pitkään, sopii puolijohteiden korkean lämpötilan prosesseihin.
Erinomainen korroosionkestävyys: kestää happoja, emäksiä ja erilaisia kemiallisia liuottimia, sopii vaativiin prosessiympäristöihin.
- Korkea kovuus ja kulutuskestävyys: kestää hiukkasten eroosiota ja mekaanista kulumista, pidentää käyttöikää.
- Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin: nopea lämmönjohtavuus ja mittapysyvyys, mikä vähentää lämpöjännityksen aiheuttamaa muodonmuutosta tai halkeilua.

Tuoteparametri:

Piikarbidikeraamisen tarjottimen parametri:

(Aineellinen ominaisuus)		(Yksikkö)	(ssic)
(SiC-pitoisuus)		(Paino)%	>99
(Keskimääräinen raekoko)		mikroni	4–10
(Tiheys)		kg/dm3	>3.14
(Näennäinen huokoisuus)		Vo1%	<0,5
(Vickersin kovuus)	HV 0.5	Gpa	28
() Taivutuslujuus (kolme pistettä)	20 ºC	MPa	450
(Puristuslujuus)	20 ºC	MPa	3900
(Elastinen moduuli)	20 ºC	Gpa	420
(Murtumissitkeys)		MPa/m'%	3.5
(Lämmönjohtavuus)	20°C	W/(m²K)	160
(Ominaisuus)	20°C	Ohm.cm	106–108
(Lämpölaajenemiskerroin)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suurin käyttölämpötila)		oºC	1700

Piikarbidikeraamisen putken parametri:

Kohteet	Indeksi
α-SIC	99 % vähintään
Näennäinen huokoisuus	16 % enintään
Irtotiheys	2,7 g/cm3 min
Taivutuslujuus korkeassa lämpötilassa	100 MPa vähintään
Lämpölaajenemiskerroin	K-1 4,7x10-6
Lämmönjohtavuuskerroin (1400ºC)	24 W/mk
Maks. käyttölämpötila	1650 ºC

Tärkeimmät käyttökohteet:

1. Piikarbidikeraaminen levy
- Kiekkojen leikkaus ja kiillotus: toimii laakerialustana, joka varmistaa suuren tarkkuuden ja vakauden leikkauksen ja kiillotuksen aikana.
- Litografiaprosessi: Kiekko kiinnitetään litografiakoneeseen, jotta valotuksen aikana saavutetaan tarkka paikannus.
- Kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP): toimii kiillotustyynyjen tukialustana ja jakaa paineen ja lämmön tasaisesti.
2. Piikarbidikeraaminen putki
- Korkean lämpötilan uuniputki: käytetään korkean lämpötilan laitteissa, kuten diffuusiouunissa ja hapetusuunissa, kiekkojen kuljettamiseen korkean lämpötilan prosessikäsittelyä varten.
- CVD/PVD-prosessi: Laakeriputkena reaktiokammiossa, kestää korkeita lämpötiloja ja syövyttäviä kaasuja.
- Puolijohdelaitteiden lisävarusteet: lämmönvaihtimiin, kaasuputkiin jne. laitteiden lämmönhallintatehokkuuden parantamiseksi.
XKH tarjoaa täyden valikoiman räätälöityjä palveluita piikarbidikeraamisille tarjottimille, imukupeille ja piikarbidikeraamisille putkille. Piikarbidikeraamiset tarjottimet ja imukupit, XKH, voidaan räätälöidä asiakkaan vaatimusten mukaan eri kokoisina, muotoisina ja pinnan karheutena, ja ne tukevat erityistä pinnoituskäsittelyä, parantavat kulutuskestävyyttä ja korroosionkestävyyttä. Piikarbidikeraamisten putkien osalta XKH voi räätälöidä erilaisia sisä- ja ulkohalkaisijoita, pituuksia ja monimutkaisia rakenteita (kuten muotoiltu putki tai huokoinen putki) sekä tarjota kiillotus-, hapettumisenestopinnoitus- ja muita pintakäsittelyprosesseja. XKH varmistaa, että asiakkaat voivat hyödyntää täysimääräisesti piikarbidikeraamisten tuotteiden suorituskykyetuja ja täyttää korkean luokan valmistusalojen, kuten puolijohteiden, ledien ja aurinkosähkön, vaativat vaatimukset.