Piekarbidi keraaminen tarjotin tikkari piikarbidi keraaminen putken syöttö korkean lämpötilan sintraus räätälöity prosessi

Piekarbidi keraaminen tarjotin tikkari Piilarbidi keraaminen putken syöttö Korkean lämpötilan sintrauskilpailun käsittely Esillä oleva kuva

Lyhyt kuvaus:

Piharbidikeraamiset tarjottimet ja piikarbidikeraamiset putket ovat välttämättömiä korkean suorituskyvyn materiaaleja puolijohteiden valmistuksessa. Piharbidikeraamisia tarjottimia käytetään pääasiassa kiekkojen prosessoinnissa ja laakereissa, jotta varmistetaan korkean tarkkuusprosessin stabiilisuus; Piekarbidikeraamisia putkia käytetään laajasti korkean lämpötilan uuniputkissa, diffuusiouuniputkissa ja muissa skenaarioissa kestämään äärimmäisiä ympäristöjä ja ylläpitämään tehokasta lämmönhallintaa. Molemmat perustuvat piiharbidiin ydinmateriaalina, josta on tullut avainkomponentti puolijohdeteollisuudessa sen erinomaisten fysikaalisten ja kemiallisten ominaisuuksien vuoksi.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Pääominaisuudet:

Kello 1. Piiharbidikeraamiset tarjottimet
- Korkea kovuus ja kulumiskestävyys: Kovuus on lähellä timanttia, ja se kestää kiekkojen prosessoinnin mekaanista kulumista pitkään.
- Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämmönlaajennuskerroin: Nopea lämmön hajoaminen ja mitta -stabiilisuus välttäen lämpöjännityksen aiheuttamaa muodonmuutosta.
- Korkea tasaisuus ja pintapinta: Pinnan tasaisuus on mikronitasolla, varmistaen, että kiekon ja levyn välinen täydellinen kosketus vähentäen saastumista ja vaurioita.
Kemiallinen stabiilisuus: Vahva korroosionkestävyys, joka sopii märkäpuhdistus- ja etsausprosesseihin puolijohteiden valmistuksessa.
14. Piilarbidikeraaminen putki
- Korkean lämpötilankestävyys: Se voi toimia korkean lämpötilan ympäristössä, joka on yli 1600 ° C pitkään, soveltuu puolijohde -korkean lämpötilan prosessiin.
Erinomainen korroosionkestävyys: resistentti hapoille, alkalille ja monille kemiallisille liuottimille, jotka sopivat ankariin prosessiympäristöihin.
- Korkea kovuus ja kulutusvastus: Vastusta hiukkasten eroosiota ja mekaanista kulumista, pidennä käyttöikä.
- Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämmönlaajennuskerroin: lämmön ja mitat stabiilisuuden nopea johtaminen, lämpöjännityksen aiheuttama muodonmuutos tai halkeaminen.

Tuoteparametri ：

Piilarbidikeraamiset tarjotinparametri:

(Materiaalinen ominaisuus)		(Yksikkö)	(SSIC)
(SIC -sisältö)		(WT)%	> 99
(Keskimääräinen viljan koko)		mikroni	4-10
(Tiheys)		KG/DM3	> 3.14
(Ilmeinen huokoisuus)		VO1%	<0,5
(Vickers -kovuus)	HV 0,5	GPA	28
() Taivutuslujuus (kolme pistettä)	20ºC	MPA	450
(Puristuslujuus)	20ºC	MPA	3900
(Joustava moduuli)	20ºC	GPA	420
(Murtolujuus)		MPA/M '%	3.5
(Lämmönjohtavuus)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Resistiivisyys)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Lämpölaajennuskerroin)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Suurin käyttölämpötila)		OºC	1700

Piilarbidi keraaminen putkiparametri:

Kohteet	Indeksi
α-SiC	99% min
Ilmeinen huokoisuus	16% enintään
Irtotavara	2,7 g/cm3 min
Taivutuslujuus korkeassa lämpötilassa	100 MPa min
Lämpölaajennuskerroin	K -1 4.7x10 -6
Lämpöjohtavuuskerroin (1400ºC)	24 w/mk
Enintään Työlämpötila	1650ºC

Pääsovellukset:

1. Piilarbidikeraaminen levy
- Kiekkojen leikkaaminen ja kiillotus: toimii laakerialustana suuren tarkkuuden ja vakauden varmistamiseksi leikkaamisen ja kiillotuksen aikana.
- Littografiaprosessi: Kiekko on kiinnitetty litografiakoneeseen, jotta varmistetaan korkea tarkkuuspaikan altistumisen aikana.
- Kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP): Toimii tukialustana kiillotustyynyjen, tarjoamalla tasaisen paineen ja lämmönjakauman.
14. Piilarbidikeraaminen putki
- Korkean lämpötilan uunin putki: Käytetään korkean lämpötilan laitteissa, kuten diffuusiouunissa ja hapettumisuunissa, kiekkojen kuljettamiseen korkean lämpötilan prosessin käsittelyä varten.
- CVD/PVD -prosessi: Reaktiokammion laakeriputkena, kestävä korkeille lämpötiloille ja syövyttäville kaasuille.
- Puolijohdelaitteiden lisävarusteet: Lämmönvaihtimille, kaasuputkistoille jne. Laitteiden lämmönhallinnan tehokkuuden parantamiseksi.
XKH tarjoaa täyden valikoiman räätälöityjä palveluita piikarbidikeraamisille lokeroille, imukupeille ja piikarbidikeraamisille putkille. Piekarbidikeraamiset tarjottimet ja imukuppit, XKH voidaan räätälöidä erikokoisten, muotojen ja pinnan karheuden asiakasvaatimusten mukaisesti ja tukea erityistä pinnoitekäsittelyä, parantaa kulumiskestävyyttä ja korroosionkestävyyttä; Piekarbidikeraamisten putkien kohdalla XKH voi mukauttaa erilaisia sisähalkaisijaa, ulomman halkaisijan, pituuden ja monimutkaisen rakenteen (kuten muotoiltu putki tai huokoinen putki) ja tarjoamaan kiillotus-, hapettumisen anti-pinnoite ja muut pintakäsittelyprosessit. XKH varmistaa, että asiakkaat voivat hyödyntää täysin piikarbidikeraamisten tuotteiden suorituskykyä, jotta voidaan vastata huippuluokan valmistuskenttien, kuten puolijohteiden, LEDien ja aurinkosähkön, vaatimuksiin.