Piikarbidi-timanttilangan leikkauskone 4/6/8/12 tuuman SiC-harkon käsittely

Lyhyt kuvaus:

Piikarbidi-timanttilangan leikkauskone on erittäin tarkka piikarbidi-(SiC)-harkon viipalointiin tarkoitettu laite, jossa käytetään timanttilangasta sahattua timanttilankaa (langan halkaisija 0,1–0,3 mm) nopeasti liikkuvalla timanttilangalla (langan halkaisija 0,1–0,3 mm) piikarbidi-harkon monilankaleikkausta varten. Näin saavutetaan tarkka ja vähän vaurioita aiheuttava kiekkojen valmistus. Laitetta käytetään laajalti piikarbiditehopuolijohteiden (MOSFET/SBD), radiotaajuuslaitteiden (GaN-on-SiC) ja optoelektronisten laitteiden substraattien käsittelyssä, ja se on keskeinen laite piikarbiditeollisuuden ketjussa.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Toimintaperiaate:

1. Harkon kiinnitys: Piikarbidiharkko (4H/6H-SiC) kiinnitetään leikkausalustalle kiinnittimen avulla paikannustarkkuuden (±0,02 mm) varmistamiseksi.

2. Timanttisiiman liike: timanttisiimaa (galvanoituja timanttihiukkasia pinnalla) ohjaa ohjauspyöräjärjestelmä nopeaa kiertoa varten (siiman nopeus 10–30 m/s).

3. Leikkaussyöttö: harkkoa syötetään asetettuun suuntaan ja timanttiviiva leikataan samanaikaisesti useilla yhdensuuntaisilla viivoilla (100–500 viivaa) useiden kiekkojen muodostamiseksi.

4. Jäähdytys ja lastunpoisto: Suihkuta jäähdytysnestettä (deionisoitua vettä + lisäaineita) leikkausalueelle lämpövaurioiden vähentämiseksi ja lastujen poistamiseksi.

Keskeiset parametrit:

1. Leikkausnopeus: 0,2–1,0 mm/min (riippuen piikarbidin kiteisuunnasta ja paksuudesta).

2. Siiman kireys: 20–50 N (liian korkea kireys katkaisee siiman helposti, liian matala vaikuttaa leikkaustarkkuuteen).

3. Kiekon paksuus: vakio 350~500μm, kiekko voi saavuttaa 100μm.

Tärkeimmät ominaisuudet:

(1) Leikkaustarkkuus
Paksuustoleranssi: ±5 μm (@350 μm kiekko), parempi kuin perinteisellä laastileikkauksella (±20 μm).

Pinnan karheus: Ra < 0,5 μm (ei vaadi lisähiontaa myöhemmän käsittelyn määrän vähentämiseksi).

Vääristyminen: <10 μm (vähentää myöhemmän kiillotuksen vaikeutta).

(2) Käsittelytehokkuus
Monilinjainen leikkaus: leikkaa 100–500 kappaletta kerrallaan, mikä lisää tuotantokapasiteettia 3–5-kertaisesti (verrattuna yhden linjan leikkaukseen).

Siiman käyttöikä: Timanttilinja voi leikata 100–300 km piikarbidia (valanteen kovuudesta ja prosessin optimoinnista riippuen).

(3) Vähävaurioinen käsittely
Reunan rikkoutuminen: <15μm (perinteinen leikkaus> 50μm), parantaa kiekkojen saantoa.

Pinnanalainen vauriokerros: <5 μm (vähentää kiillotusaineen poistoa).

(4) Ympäristönsuojelu ja talous
Ei laastin kontaminaatiota: Pienemmät jäteveden hävityskustannukset laastin leikkaamiseen verrattuna.

Materiaalin käyttöaste: Leikkaushäviö <100μm/leikkuri, mikä säästää piikarbidiraaka-aineita.

Leikkausvaikutus:

1. Kiekon laatu: ei makroskooppisia halkeamia pinnalla, vain vähän mikroskooppisia vikoja (hallittavissa oleva dislokaation laajeneminen). Voi suoraan päästä karkeaan kiillotuslenkkiin, mikä lyhentää prosessivirtaa.

2. Sakeus: erän kiekon paksuuspoikkeama on <±3%, soveltuu automatisoituun tuotantoon.

3. Soveltuvuus: Tukee 4H/6H-SiC-harkon leikkausta, yhteensopiva johtavan/puolieristetyn tyypin kanssa.

Tekniset tiedot:

Tekniset tiedot	Tiedot
Mitat (P × L × K)	2500x2300x2500 tai mukauta
Käsittelymateriaalin kokoluokka	4, 6, 8, 10, 12 tuumaa piikarbidia
Pinnan karheus	Ra≤0.3u
Keskimääräinen leikkausnopeus	0,3 mm/min
Paino	5,5 tonnia
Leikkausprosessin asetusvaiheet	≤30 askelta
Laitteiden melu	≤80 dB
Teräslangan kireys	0~110N (0,25 langan kireys on 45N)
Teräslangan nopeus	0–30 m/s
Kokonaisteho	50 kW
Timanttilangan halkaisija	≥0,18 mm
Pään tasaisuus	≤0,05 mm
Leikkaus- ja murtonopeus	≤1% (paitsi inhimillisistä syistä, piimateriaalista, linjasta, huollosta ja muista syistä)

XKH-palvelut:

XKH tarjoaa piikarbidi-timanttilangan leikkauskoneiden koko prosessipalvelun, mukaan lukien laitevalinnan (langan halkaisijan/nopeuden yhteensovitus), prosessinkehityksen (leikkausparametrien optimointi), kulutusosien toimituksen (timanttilanka, ohjauspyörä) ja jälkimarkkinointituen (laitteiden huolto, leikkauslaadun analysointi), auttaakseen asiakkaita saavuttamaan korkean saannon (>95 %) ja edullisen piikarbidikiekon massatuotannon. Se tarjoaa myös räätälöityjä päivityksiä (kuten erittäin ohuen leikkaus, automaattinen lastaus ja purku) 4–8 viikon toimitusajalla.