Piikarbidin timanttilangan leikkauskone 4/6/8/12 tuuman piikarbidin valanteen käsittely
Toimintaperiaate:
1. Harkon kiinnitys: SiC-harkko (4H/6H-SiC) kiinnitetään leikkuualustalle kiinnikkeen läpi asennon tarkkuuden (±0,02 mm) varmistamiseksi.
2. Timanttiviivan liike: timanttiviiva (sähköistettyjä timanttihiukkasia pinnalla) ohjaa ohjauspyöräjärjestelmä nopeaa kiertoa varten (linjan nopeus 10-30 m/s).
3. Leikkaussyöttö: harkkoa syötetään asetettua suuntaa pitkin, ja timanttiviiva leikataan samanaikaisesti useilla rinnakkaisilla viivoilla (100–500 riviä) useiden kiekkojen muodostamiseksi.
4. Jäähdytys ja lastunpoisto: Suihkuta jäähdytysnestettä (deionisoitua vettä + lisäaineita) leikkausalueelle lämpövaurioiden vähentämiseksi ja lastujen poistamiseksi.
Tärkeimmät parametrit:
1. Leikkausnopeus: 0,2 ~ 1,0 mm/min (riippuen kiteen suunnasta ja piikarbidin paksuudesta).
2. Siiman kireys: 20 ~ 50 N (liian korkea, helppo katkaista siima, liian alhainen vaikuttaa leikkaustarkkuuteen).
3. Kiekon paksuus: standardi 350 ~ 500 μm, kiekko voi olla 100 μm.
Pääominaisuudet:
(1) Leikkaustarkkuus
Paksuustoleranssi: ±5 μm (@350 μm kiekko), parempi kuin perinteinen laastileikkaus (± 20 μm).
Pinnan karheus: Ra<0,5 μm (ei vaadi lisähiontaa myöhemmän käsittelyn vähentämiseksi).
Vääntyminen: <10 μm (vähennä myöhemmän kiillotuksen vaikeutta).
(2) Käsittelytehokkuus
Monilinjainen leikkaus: leikataan 100-500 kappaletta kerralla, tuotantokapasiteetti kasvaa 3-5 kertaa (vs. yksilinjainen leikkaus).
Linjan käyttöikä: Timanttilinja voi leikata 100–300 km SiC:tä (riippuen harkon kovuudesta ja prosessin optimoinnista).
(3) Alhainen vauriokäsittely
Reunamurtuminen: <15μm (perinteinen leikkaus >50μm), parantaa kiekkojen saantoa.
Pintavauriokerros: <5 μm (vähennä kiillotuksen poistoa).
(4) Ympäristönsuojelu ja talous
Ei laastin kontaminaatiota: Pienemmät jätenesteen hävityskustannukset laastin leikkaamiseen verrattuna.
Materiaalin käyttö: Leikkaushäviö <100μm/leikkuri, säästää piikarbidiraaka-aineita.
Leikkaava vaikutus:
1. Kiekon laatu: ei makroskooppisia halkeamia pinnassa, vähän mikroskooppisia vikoja (hallittava dislokaatiolaajennus). Voi suoraan päästä karkeaan kiillotuslinkkiin, lyhentää prosessin kulkua.
2. Sakeus: kiekon paksuuspoikkeama erässä on <±3 %, sopii automatisoituun tuotantoon.
3.Soveltamisala: Tukee 4H/6H-SiC-harkon leikkausta, joka on yhteensopiva johtavan/puolieristetyn tyypin kanssa.
Tekniset tiedot:
| Erittely | Yksityiskohdat |
| Mitat (P × L × K) | 2500x2300x2500 tai mukauta |
| Käsittelymateriaalin kokoalue | 4, 6, 8, 10, 12 tuumaa piikarbidia |
| Pinnan karheus | Ra≤0,3u |
| Keskimääräinen leikkausnopeus | 0,3 mm/min |
| Paino | 5,5t |
| Leikkausprosessin asetusvaiheet | ≤30 askelta |
| Laitteen melu | ≤80 dB |
| Teräslangan kireys | 0 ~ 110 N (0,25 langan kireys on 45 N) |
| Teräslangan nopeus | 0-30 m/s |
| Kokonaisteho | 50kw |
| Timanttilangan halkaisija | ≥0,18 mm |
| Loppu tasaisuus | ≤0,05 mm |
| Leikkaus- ja murtumisnopeus | ≤1 % (paitsi inhimillisistä syistä, silikonimateriaalista, linjasta, huollosta ja muista syistä) |
XKH Palvelut:
XKH tarjoaa piikarbidin timanttilanganleikkauskoneen koko prosessipalvelun, mukaan lukien laitteiden valinnan (langan halkaisijan/langan nopeuden sovitus), prosessikehityksen (leikkausparametrien optimointi), kulutustarvikkeiden toimituksen (timanttilanka, ohjauspyörä) ja myynnin jälkeisen tuen (laitteiden huolto, leikkauslaadun analyysi), auttaakseen asiakkaita saavuttamaan korkean tuoton (>95 %), edullisen SiC-kiekkojen massatuotannon. Se tarjoaa myös räätälöityjä päivityksiä (kuten ultraohut leikkaus, automaattinen lastaus ja purku) 4-8 viikon toimitusajalla.
Yksityiskohtainen kaavio
