Piikarbidista (SiC) valmistettu vaakasuora uuniputki

Lyhyt kuvaus:

Piikarbidista (SiC) valmistettu vaakasuora uuniputki toimii pääasiallisena prosessikammiona ja painerajana korkean lämpötilan kaasufaasireaktioissa ja lämpökäsittelyissä, joita käytetään puolijohdevalmistuksessa, aurinkosähköteollisuudessa ja edistyneessä materiaalinkäsittelyssä.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Tuotteen asemointi ja arvolupaus

Tämä putki on valmistettu yhdestä kappaleesta, lisäainevalmisteisesta piikarbidirakenteesta ja tiheästä CVD-SiC-suojakerroksesta. Se tarjoaa poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, minimaalisen kontaminaation, vahvan mekaanisen eheyden ja erinomaisen kemikaalienkestävyyden.
Sen rakenne varmistaa erinomaisen lämpötilan tasaisuuden, pidemmät huoltovälit ja vakaan pitkäaikaisen toiminnan.

Keskeiset edut

Parantaa järjestelmän lämpötilan tasaisuutta, puhtautta ja laitteiden yleistä tehokkuutta (OEE).
Lyhentää puhdistuksen seisokkiaikaa ja pidentää vaihtovälejä, mikä alentaa kokonaiskustannuksia.
Tarjoaa pitkäikäisen kammion, joka pystyy käsittelemään korkean lämpötilan oksidatiivisia ja klooripitoisia kemikaaleja minimaalisella riskillä.

Soveltuvat ilmakehät ja prosessi-ikkuna

Reaktiiviset kaasut: happi (O₂) ja muut hapettavat seokset
Kantaja-/suojakaasuttyppi (N₂) ja erittäin puhtaat inertit kaasut
Yhteensopivat lajit: klooripitoisten kaasujen jäämiä (pitoisuus ja viipymäaika reseptin mukaan)

Tyypilliset prosessitkuiva-/märkähapetus, hehkutus, diffuusio, LPCVD/CVD-pinnoitus, pinta-aktivointi, fotovoltainen passivointi, toiminnallinen ohutkalvokasvatus, hiilestys, nitraus ja paljon muuta.

Käyttöolosuhteet

Lämpötila: huoneenlämpötila jopa 1250 °C (varaa 10–15 %:n turvamarginaali lämmittimen rakenteesta ja ΔT:stä riippuen)
Paine: matalapaine-/LPCVD-tyhjiötasoista lähes ilmakehän positiiviseen paineeseen (lopullinen erittely tilauksen mukaan)

Materiaalit ja rakenteellinen logiikka

Monoliittinen piikarbidirunko (lisäaineella valmistettu)

Suuritiheyksinen β-SiC tai monifaasinen SiC, rakennettu yhtenä komponenttina – ei juotettuja liitoksia tai saumoja, jotka voisivat vuotaa tai aiheuttaa jännityspisteitä.
Korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa nopean lämpövasteen ja erinomaisen aksiaalisen/radiaalisen lämpötilan tasaisuuden.
Alhainen ja vakaa lämpölaajenemiskerroin (CTE) varmistaa mittapysyvyyden ja luotettavat tiivisteet korkeissa lämpötiloissa.

CVD SiC -funktionaalinen pinnoite

Paikan päällä kerrostettu, erittäin puhdas (pinnan/pinnoitteen epäpuhtaudet < 5 ppm) hiukkasten muodostumisen ja metalli-ionien vapautumisen estämiseksi.
Erinomainen kemiallinen inerttiys hapettavia ja klooria sisältäviä kaasuja vastaan, estää seinämän hyökkäyksen tai uudelleenkerrostumisen.
Vyöhykekohtaiset paksuusvaihtoehdot korroosionkestävyyden ja lämpöherkkyyden tasapainottamiseksi.

Yhdistetty etuKestävä piikarbidirunko tarjoaa rakenteellista lujuutta ja lämmönjohtavuutta, kun taas CVD-kerros takaa puhtauden ja korroosionkestävyyden maksimaalisen luotettavuuden ja läpimenon saavuttamiseksi.

Keskeiset suorituskykytavoitteet

Jatkuvan käytön lämpötila:≤ 1250 °C
Irtoalustan epäpuhtaudet:< 300 ppm
CVD-SiC-pinnan epäpuhtaudet:< 5 ppm
Mittatoleranssit: ulkohalkaisija ±0,3–0,5 mm; koaksiaalisuus ≤ 0,3 mm/m (tiukempi saatavilla)
Sisäseinän karheus: Ra ≤ 0,8–1,6 µm (kiillotettu tai lähes peilipinta valinnaisesti)
Heliumin vuotonopeus: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Lämpöshokin kestävyys: kestää toistuvia kuumuuden/kylmän vaihteluita ilman halkeilua tai lohkeilua
Puhdastilan kokoonpano: ISO-luokka 5–6 sertifioiduilla hiukkas-/metalli-ionijäämien tasoilla

Kokoonpanot ja vaihtoehdot

GeometriaUlkohalkaisija 50–400 mm (arvioinnin perusteella suurempi) pitkällä, yhtenäisellä rakenteella; seinämän paksuus on optimoitu mekaanisen lujuuden, painon ja lämmönvuodon suhteen.
LoppumallitLaipat, suukappaleet, bajonettiliitännät, ohjausrenkaat, O-rengasurat ja räätälöidyt pumppaus- tai paineportit.
Toiminnalliset portittermoelementtien läpiviennit, tarkastuslasin istukat, ohituskaasun sisääntulot – kaikki suunniteltu korkeisiin lämpötiloihin ja tiiviisti toimintaan.
Pinnoitusjärjestelmät: sisäseinä (oletus), ulkoseinä tai täysi peitto; kohdennettu suojaus tai porrastettu paksuus voimakkaan iskun alueilla.
Pintakäsittely ja puhtaususeita karheusasteita, ultraääni-/suorasuihkupuhdistus ja mukautetut paisto-/kuivausprotokollat.
Asusteetgrafiitti-/keraami-/metallilaipat, tiivisteet, paikannuskiinnikkeet, käsittelyholkit ja säilytystelineet.

Suorituskyvyn vertailu

Metrinen	SiC-putki	Kvartsiputki	Alumiinioksidiputki	Grafiittiputki
Lämmönjohtavuus	Korkea, yhtenäinen	Matala	Matala	Korkea
Korkean lämpötilan lujuus/viruminen	Erinomainen	Reilu	Hyvä	Hyvä (hapettumisherkkä)
Lämpöshokki	Erinomainen	Heikko	Kohtalainen	Erinomainen
Puhtaus / metalli-ionit	Erinomainen (matala)	Kohtalainen	Kohtalainen	Huono
Hapettuminen ja Cl-kemia	Erinomainen	Reilu	Hyvä	Huono (hapettuu)
Kustannukset vs. käyttöikä	Keskipitkä / pitkä käyttöikä	Matala / lyhyt	Keskitaso / keskitaso	Keskitaso / ympäristön rajoittama

Usein kysytyt kysymykset (UKK)

K1. Miksi valita 3D-tulostettu monoliittinen piikarbidirunko?
A. Se poistaa saumat ja juotokset, jotka voivat vuotaa tai keskittää jännitystä, ja tukee monimutkaisia geometrioita tasaisella mittatarkkuudella.

K2. Onko piikarbidi kestävä klooripitoisille kaasuille?
A. Kyllä. CVD-SiC on erittäin inertti tietyissä lämpötila- ja painerajoissa. Suuren iskualttiille alueille suositellaan paikallisia paksuja pinnoitteita ja kestäviä puhdistus-/poistojärjestelmiä.

K3. Miten se on parempi kuin kvartsiputket?
A. Piikarbidi tarjoaa pidemmän käyttöiän, paremman lämpötilan tasaisuuden, pienemmän hiukkas-/metalli-ionikontaminaation ja paremmat kokonaiskustannukset – erityisesti yli ~900 °C:n lämpötilassa tai hapettavissa/klooratuissa ilmakehissä.

K4. Kestääkö putki nopeaa lämpötilan nousua?
A. Kyllä, edellyttäen, että suurinta ΔT-arvoa ja nousu- ja laskunopeutta koskevia ohjeita noudatetaan. Korkean κ-arvon omaavan piikarbidikappaleen yhdistäminen ohueen CVD-kerrokseen tukee nopeita lämpösiirtymiä.

K5. Milloin vaihto on tarpeen?
A. Vaihda putki, jos havaitset laipan tai reunan halkeamia, pinnoitteen kuoppia tai lohkeilua, kasvavia vuotoja, merkittävää lämpötilaprofiilin ryömintää tai epänormaalia hiukkasten muodostumista.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.