TGV Lasisubstraatit 12 tuuman kiekko Lasin lävistys
Lasisubstraatit toimivat paremmin termisten ominaisuuksien, fysikaalisen stabiilisuuden suhteen ja ovat lämmönkestävämpiä ja vähemmän alttiita korkeista lämpötiloista johtuville vääntymis- tai muodonmuutosongelmille;
Lisäksi lasiytimen ainutlaatuiset sähköiset ominaisuudet mahdollistavat pienemmät dielektriset häviöt, mikä mahdollistaa selkeämmän signaalin ja voimansiirron. Tämän seurauksena tehohäviö signaalin lähetyksen aikana vähenee ja sirun kokonaishyötysuhde paranee luonnollisesti. Lasisydänsubstraatin paksuutta voidaan pienentää noin puoleen ABF-muoviin verrattuna, ja ohentaminen parantaa signaalin siirtonopeutta ja tehokkuutta.
TGV:n reiänmuodostustekniikka:
Laser-indusoitua etsausmenetelmää käytetään jatkuvan denaturaatioalueen indusoimiseen pulssilaserin kautta, minkä jälkeen laserkäsitelty lasi laitetaan fluorivetyhappoliuokseen syövytystä varten. Denaturaatiovyöhykkeen lasin etsausnopeus fluorivetyhapossa on nopeampi kuin denaturoimattoman lasin läpimenevien reikien muodostus.
TGV täyttö:
Ensin tehdään TGV:n sokeat reiät. Toiseksi siemenkerros kerrostettiin TGV:n sokean reiän sisään fysikaalisella höyrypinnoituksella (PVD). Kolmanneksi alhaalta ylös -sähköpinnoituksella saavutetaan TGV:n saumaton täyttö; Lopuksi väliaikainen liimaus, takaisinhionta, kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP) kuparin altistaminen, sidosten purkaminen, jolloin muodostuu TGV-metallitäytteinen siirtolevy.