Miksi piikiekoissa on litteitä kohtia tai lovia?

Piikiekoilla, jotka muodostavat integroidut piirit ja puolijohdelaitteet, on kiehtova ominaisuus – litistetty reuna tai pieni lovi kyljessä. Tämä pieni yksityiskohta on itse asiassa tärkeä kiekkojen käsittelyn ja laitteiden valmistuksen kannalta. Johtavana kiekkovalmistajana meiltä kysytään usein – miksi piikiekoissa on tasaisia ​​kohtia tai lovia? Tässä artikkelissa selitämme tasaisten kohtien ja lovien toiminnan ja keskustelemme joistakin keskeisistä eroista.

*Etsitkö kiekkoja, joissa on tasapintaisia ​​pinta- tai loviosia? Meillä on laaja valikoima vakio- ja räätälöityjä piikiekkoja tilattavissa verkossa WaferPron kautta – tarkkoja SEMI-standardin mukaisia ​​tasapintaisia ​​pinta-aloja ja räätälöityjä tasapintaisia ​​pinta-aloja piisirutarpeisiisi.

Tasojen ja lovien rooli

Piikiekot ovat herkkiä ja niitä on käsiteltävä tarkasti laitteiden valmistuksen aikana. Tasaiset urat ja lovet tarjoavat paikan, josta koneet voivat turvallisesti tarttua kiekkoon koskettamatta pääpintoja. Tämä suojaa arvokasta kiekon pintaa vaurioilta tai kontaminaatiolta käsittelyn aikana.

Puolijohdeteollisuudessa käytetään kahta päätyyppiä:

• Litteät reunat – nämä ovat suoria reunoja, jotka on leikattu pyöreän kiekon kylkeen
• Lovet – pienet V-muotoiset syvennykset kiekon reunassa

Piikiekkoja käsittelevissä koneissa on erityisesti suunnitellut päätykappaleet, jotka tarttuvat tiukasti litteisiin kohtiin tai loviin kuljetusta ja kohdistusta varten valmistuslaitteissa. Tartuntapinta-ala on pidetty hyvin pienenä, jotta integroitujen piirien rakentamiseen tarvittava pinta-ala on mahdollisimman suuri.

Tämä mahdollistaa kiekkojen automaattisen ja turvallisen siirtämisen prosessilaitteiden välillä tuotantolinjoilla. Käyttäjät voivat myös käsitellä kiekkoja varovasti manuaalisesti tasoista kohdista/lovista niitä kasettisäiliöissä lastatessa tai purettaessa.

Miksi on litteitä ja lovia?

Loven tai tasopinnan epäsymmetria on tärkeä kiekkojen valmistuksen kannalta. Ilman näitä kiekkoa ei olisi käytännössä mahdollista suuntaa luotettavasti ja määrittää sirujen sijainteja.

Linjaus ja kartoitus

Piikiekkojen kiteillä on atomirakenteet, jotka on järjestetty tiettyihin tasoihin ja suuntiin – sillä on suuri merkitys, mihin suuntaan kiekkoa käännetään!

Näiden kidetasojen ja -akselien suunnan määrittämiseen käytetään tasopintoja ja lovia. Kehän epäsymmetrian avulla insinöörit voivat kohdistaa ne tarkasti tarvittaviin <110>- tai <100>-kidesuuntiin.

Tämä suuntaus varmistaa oikean kohdistuksen kiekosta lopullisiin sirulaitteisiin. Maskit ja laitteet kohdistavat toimintaansa tiettyihin kohtiin kiekon pinnalla rakentaakseen rakenteita ja integroituja piirejä. Väärä suuntaus voi tehdä näistä laitteista käyttökelvottomia!

Käsittely ja turvallisuus

Kuten jo mainittiin, litteiden/lovien muoto mahdollistaa valmistuslaitteiden turvallisen käsittelyn. Ilman näitä tartuntapisteitä työkalu aiheuttaisi hallitsemattomia voimia ja osuisi kiekkojen pintoihin.

Tällainen kosketus voi aiheuttaa kontaminaatiota, joka voi pilata toiminnallisuuden. Reunoilla olevat tartuntakohdat estävät tämän kontaminaation ja samalla kiinnittävät kiekon paremmin.

Lisäksi insinöörit yleensä välttävät teräviä kulmia ja reunoja käsitellessään herkkiä materiaaleja, kuten piikiekkoja. Tasaiset ja pyöristetyt lovet vähentävät halkeamien tai murtumisten riskiä verrattuna terävien reunojen käsittelyyn.

Tasaiset urat tai lovet maksimoivat käsittelyvakauden ja samalla vapauttavat tilaa laitteen valmistukselle.

Kiekkolevyt vs. kiekkolo

Sekä tasapintaiset että lovet toimivat onnistuneesti samassa tehtävässä, joten miksi niitä on kaksi tyyppiä? Niiden välillä on joitakin hienovaraisia ​​eroja…

Litteät kahvat vievät enemmän tilaa reunalla, mutta tarjoavat suuremman ja suoran otteen. Lovet ovat kompaktimpia, mutta tarjoavat turvallisen otteen kärjestä.

Myös historiallisia syitä on, jotka perustuvat alan kehitykseen. Aluksi tasapinnat tarjosivat kiekkoteknikoille helpon visuaalisen vihjeen ja otteen. Automaation lisääntyessä lovet voitiin piilottaa efektorileukojen sisään.

Tyyppi riippuu pääasiassa laitteen suunnittelusta ja toimittajan antamista tiedoista. Useimmat työstötyökalut toimivat nykyään helposti joko tasoterillä tai lovilla.

Niinpä puolijohdetehtaat omaksuvat parhaiten sopivan standardin sen sijaan, että sekoittaisivat ja yhdistelisivät eri materiaaleja. Jotkut tehtaat käyttävät pelkästään tasaisia ​​osia, toiset taas lovia logistiikan yksinkertaistamiseksi.

Johtavana kiekkojen valmistajana meillä on kyky toimittaa kiekkoja tasoilla tai lovilla asiakkaiden tuotantolinjojensa vaatimusten mukaisesti.

Takeaway

Vaikka kyseessä on hienovarainen ominaisuus, tasaiset pinnat ja lovet mahdollistavat käsittelyn, kohdistuksen ja turvallisuuden piikiekkojen prosessoinnissa. Epäsymmetria mahdollistaa virheettömän suuntauksen ja tarjoaa laitteille pääsyn tartuntakiekkoihin ilman pintavaurioita.

Kun seuraavan kerran katsot integroitua piiriä, mieti kuinka tärkeä rooli niin pienellä litteällä pinnalla tai lovella oli sen valmistuksessa!

Ilman litteitä pintoja tai lovia yli triljoonat piilevyllä rakennetut transistorit eivät olisi koskaan päässeet toimivaan kuntoon nykyaikaisessa elektroniikassa. Jälleen yksi syy siihen, miksi näennäisesti merkityksettömillä yksityiskohdilla on suuri merkitys puolijohdevalmistuksessa!