Safiirietsattujen kiekkojen märkä- ja kuivaetsausratkaisut

Safiiri syövytettyjen kiekkojen märkä- ja kuivaetsausratkaisut Esittelykuva

Lyhyt kuvaus:

Safiirietsatut kiekot valmistetaan erittäin puhtaista yksikiteisistä safiiri (Al₂O₃) -alustoista, jotka käsitellään edistyneellä fotolitografialla yhdistettynä märkäetsaus- ja kuivaetsaustekniikoihin. Tuotteissa on erittäin tasaiset mikrorakennekuviot, erinomainen mittatarkkuus ja erinomainen fysikaalinen ja kemiallinen stabiilius, minkä ansiosta ne soveltuvat erittäin luotettaviin sovelluksiin mikroelektroniikassa, optoelektroniikassa, puolijohdepakkauksissa ja edistyneillä tutkimusaloilla.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Safiirietsattujen kiekkojen märkä- ja kuivaetsausratkaisut

Tuotteen esittely

Safiirietsatut kiekot valmistetaan erittäin puhtaista yksikiteisistä safiiri (Al₂O₃) -alustoista, jotka käsitellään edistyneellä fotolitografialla yhdistettynämärkäetsaus- ja kuivaetsaustekniikatTuotteilla on erittäin tasaiset mikrorakenteiset kuviot, erinomainen mittatarkkuus ja erinomainen fysikaalinen ja kemiallinen stabiilius, minkä ansiosta ne soveltuvat erittäin luotettaviin sovelluksiin mikroelektroniikassa, optoelektroniikassa, puolijohdepakkauksissa ja edistyneillä tutkimusaloilla.

Safiiri tunnetaan poikkeuksellisesta kovuudestaan ja rakenteellisesta vakaudestaan, jonka Mohsin kovuus on 9, mikä on toiseksi alempi vain timantin jälkeen. Etsausparametrien tarkalla hallinnalla safiirin pinnalle voidaan muodostaa hyvin määriteltyjä ja toistettavia mikrorakenteita, mikä varmistaa terävät kuvioiden reunat, vakaan geometrian ja erinomaisen tasalaatuisuuden eri erissä.

Etsaustekniikat

Märkäetsaus

Märkäetsaus käyttää erikoistuneita kemiallisia liuoksia safiirimateriaalin selektiiviseen poistamiseen ja haluttujen mikrorakenteiden muodostamiseen. Tämä prosessi tarjoaa suuren läpimenon, hyvän tasaisuuden ja suhteellisen alhaiset käsittelykustannukset, joten se soveltuu laaja-alaiseen kuviointiin ja sovelluksiin, joissa sivuseinäprofiilin vaatimukset ovat kohtuulliset.

Liuoksen koostumusta, lämpötilaa ja etsausaikaa tarkasti kontrolloimalla voidaan saavuttaa etsaussyvyyden ja pinnan morfologian vakaa hallinta. Märkäetsattuja safiirikiekkoja käytetään laajalti LED-pakkausalustoissa, rakenteellisissa tukikerroksissa ja valituissa MEMS-sovelluksissa.

Kuiva etsaus

Kuivaetsaus, kuten plasmaetsaus tai reaktiivinen ionetsaus (RIE), käyttää korkeaenergisiä ioneja tai reaktiivisia lajeja safiirin etsaukseen fysikaalisten ja kemiallisten mekanismien avulla. Tämä menetelmä tarjoaa erinomaisen anisotropian, suuren tarkkuuden ja erinomaisen kuvionsiirtokyvyn, mikä mahdollistaa hienojen ominaisuuksien ja korkean kuvasuhteen omaavien mikrorakenteiden valmistuksen.

Kuivaetsaus sopii erityisesti sovelluksiin, jotka vaativat pystysuoria sivuseiniä, terävää piirteiden määrittelyä ja tarkkaa mittahallintaa, kuten Micro-LED-laitteissa, edistyneissä puolijohdepakkauksissa ja tehokkaissa MEMS-rakenteissa.

Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

Erittäin puhdas yksikiteinen safiirisubstraatti, jolla on erinomainen mekaaninen lujuus
Joustavat prosessivaihtoehdot: märkäetsaus tai kuivaetsaus käyttötarkoituksen vaatimusten mukaan
Korkea kovuus ja kulutuskestävyys pitkäaikaisen luotettavuuden takaamiseksi
Erinomainen terminen ja kemiallinen stabiilius, sopii vaativiin ympäristöihin
Korkea optinen läpinäkyvyys ja vakaat dielektriset ominaisuudet
Korkea kuvion tasaisuus ja eräkohtainen yhdenmukaisuus

Sovellukset

LED- ja mikro-LED-pakkaukset ja testausalustat
Puolijohdesirujen kuljettimet ja edistyneet pakkaukset
MEMS-anturit ja mikroelektromekaaniset järjestelmät
Optiset komponentit ja tarkkuuskohdistusrakenteet
Tutkimuslaitokset ja räätälöity mikrorakenteiden kehitys

Mukauttaminen ja palvelut

Tarjoamme kattavia räätälöintipalveluita, mukaan lukien kuviosuunnittelu, syövytysmenetelmän valinta (märkä tai kuiva), syövytyssyvyyden säätö, alustan paksuus- ja kokovaihtoehdot, yksi- tai kaksipuolinen syövytys sekä pinnan kiillotusasteet. Tiukat laadunvalvonta- ja tarkastusmenettelyt varmistavat, että jokainen safiirilla syövytetty kiekko täyttää korkeat luotettavuus- ja suorituskykystandardit ennen toimitusta.

Usein kysytyt kysymykset

K1: Mitä eroa on safiirin märkäetsauksella ja kuivaetsauksella?

A:Märkäetsaus perustuu kemiallisiin reaktioihin ja soveltuu laaja-alaiseen ja kustannustehokkaaseen prosessointiin, kun taas kuivaetsaus käyttää plasma- tai ionipohjaisia tekniikoita suuremman tarkkuuden, paremman anisotropian ja hienomman ominaisuuksien hallinnan saavuttamiseksi. Valinta riippuu rakenteellisesta monimutkaisuudesta, tarkkuusvaatimuksista ja kustannustekijöistä.

K2: Minkä syövytysprosessin minun pitäisi valita sovellukseeni?

A:Märkäetsausta suositellaan sovelluksiin, jotka vaativat yhtenäisiä kuvioita kohtalaisella tarkkuudella, kuten tavallisille LED-alustoille. Kuivaetsaus sopii paremmin korkean resoluution, korkean kuvasuhteen tai Micro-LED- ja MEMS-sovelluksiin, joissa tarkka geometria on kriittisen tärkeää.

K3: Voitteko tukea räätälöityjä kuvioita ja eritelmiä?

A:Kyllä. Tuemme täysin räätälöityjä malleja, mukaan lukien kuvioiden asettelu, ominaisuuksien koko, etsaussyvyys, kiekon paksuus ja alustan mitat.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.