Piikarbidista valmistettu ulokevarren lapa (SiC Cantilever -lapa)

Piikarbidista valmistettu ulokepalkkimela (SiC Cantilever Paddle) Esittelykuva

Lyhyt kuvaus:

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Tuotteen yleiskatsaus

Piikarbidista valmistettu ulokepalkki, joka on valmistettu korkean suorituskyvyn reaktiosidotusta piikarbidista (RBSiC), on kriittinen komponentti, jota käytetään kiekkojen lataus- ja käsittelyjärjestelmissä puolijohde- ja aurinkosähkösovelluksissa.
Verrattuna perinteisiin kvartsi- tai grafiittisiipiin, piikarbidi (SiC) -ulokepääsiipillä on erinomainen mekaaninen lujuus, korkea kovuus, alhainen lämpölaajeneminen ja erinomainen korroosionkestävyys. Ne säilyttävät erinomaisen rakenteellisen vakauden korkeissa lämpötiloissa, täyttäen suurten kiekkokokojen, pitkän käyttöiän ja erittäin vähäisen kontaminaation tiukat vaatimukset.

Puolijohdeprosessien jatkuvan kehityksen myötä kohti suurempia kiekkojen halkaisijoita, suurempaa läpivirtausta ja puhtaampia käsittelyympäristöjä piikarbidista (SiC) valmistetut ulokepalkkimalliset lapat ovat vähitellen korvanneet perinteiset materiaalit ja niistä on tullut ensisijainen valinta diffuusiouuneissa, LPCVD:ssä ja niihin liittyvissä korkean lämpötilan laitteissa.

Tuotteen ominaisuudet

Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius
- Toimii luotettavasti 1000–1300 ℃:n lämpötilassa ilman muodonmuutoksia.
- Suurin käyttölämpötila jopa 1380 ℃.
Suuri kuormankantokyky
- Taivutuslujuus jopa 250–280 MPa, paljon suurempi kuin kvartsilevyillä.
- Pystyy käsittelemään suuriläpimittaisia kiekkoja (300 mm ja yli).
Pidennetty käyttöikä ja vähäinen huolto
- Alhainen lämpölaajenemiskerroin (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), sopii hyvin yhteen LPCVD-pinnoitemateriaalien kanssa.
- Vähentää rasituksen aiheuttamia halkeamia ja hilseilyä, mikä pidentää merkittävästi puhdistus- ja huoltovälejä.
Korroosionkestävyys ja puhtaus
- Erinomainen happojen ja emästen kestävyys.
- Tiivis mikrorakenne, jonka avoin huokoisuus on <0,1 %, mikä minimoi hiukkasten muodostumisen ja epäpuhtauksien vapautumisen.
Automaatioyhteensopiva suunnittelu
- Vakaa poikkileikkausgeometria ja korkea mittatarkkuus.
- Integroituu saumattomasti robottikiekkojen lastaus- ja purkujärjestelmiin, mikä mahdollistaa täysin automatisoidun tuotannon.

Fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet

Tuote	Yksikkö	Data
Maks. käyttölämpötila	℃	1380
Tiheys	g/cm³	3.04–3.08
Avoin huokoisuus	%	< 0,1
Taivutuslujuus	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Kimmokerroin	Gpa	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Lämmönjohtavuus	W/m·K	45 (1200 ℃)
Lämpölaajenemiskerroin	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Vickersin kovuus	HV2	≥ 2100
Happo-/emäskestävyys	-	Erinomainen

Vakiopituudet:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Mukautetut mitat saatavilla pyynnöstä

Sovellukset

Puolijohdeteollisuus
- LPCVD (matalapaineen kemiallinen höyrypinnoitus)
- Diffuusioprosessit (fosfori, boori jne.)
- Terminen hapetus
Aurinkosähköteollisuus
- Polysilikoni- ja monokiteisten kiekkojen diffuusio ja pinnoitus
- Korkean lämpötilan hehkutus ja passivointi
Muut kentät
- Korkean lämpötilan syövyttävät ympäristöt
- Tarkat kiekkojen käsittelyjärjestelmät, jotka vaativat pitkän käyttöiän ja vähäisen kontaminaation

Asiakkaan edut

Alennetut käyttökustannukset– Pidempi käyttöikä verrattuna kvartsilapoihin, mikä minimoi seisokkiajat ja vaihtovälit.
Korkeampi tuotto– Erittäin alhainen kontaminaatioaste varmistaa kiekkojen pinnan puhtauden ja vähentää vikaantumisastetta.
Tulevaisuudenkestävä– Yhteensopiva suurten kiekkokokojen ja seuraavan sukupolven puolijohdeprosessien kanssa.
Parempi tuottavuus– Täysin yhteensopiva robottiautomaatiojärjestelmien kanssa, tukee suurten volyymien valmistusta.

Usein kysytyt kysymykset – piikarbidista valmistettu ulokepalkki

K1: Mikä on piikarbidista valmistettu ulokepalkkimela?
A: Se on kiekkojen tuki- ja käsittelykomponentti, joka on valmistettu reaktiosidotusta piikarbidista (RBSiC). Sitä käytetään laajalti diffuusiouuneissa, LPCVD:ssä ja muissa korkean lämpötilan puolijohde- ja aurinkosähköprosesseissa.

K2: Miksi valita piikarbidi kvartsisten melojen sijaan?
A: Verrattuna kvartsilapoihin, piikarbidilapoissa on seuraavat ominaisuudet:

Suurempi mekaaninen lujuus ja kuormituksenkesto
Parempi terminen stabiilius jopa 1380 ℃:n lämpötiloissa
Paljon pidempi käyttöikä ja lyhyemmät huoltovälit
Pienempi hiukkasten muodostuminen ja kontaminaatioriski
Yhteensopivuus suurempien kiekkokokojen kanssa (300 mm ja yli)

K3: Minkä kokoisia kiekkoja piikarbidilevy tukee?
A: Vakiokokoisia lapoja on saatavilla 2378 mm, 2550 mm ja 2660 mm uunijärjestelmille. Saatavilla on myös räätälöityjä mittoja tukemaan jopa 300 mm:n ja sitä suurempia kiekkoja.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.