Piikarbidikeraaminen istukka SiC-safiiri Si GAAs -kiekolle

Lyhyt kuvaus:

Piikarbidikeraaminen istukka on tehokas alusta, joka on suunniteltu puolijohteiden tarkastukseen, kiekkojen valmistukseen ja liimaussovelluksiin. Se on valmistettu edistyneistä keraamisista materiaaleista – kuten sintratusta piikarbidista (SSiC), reaktiosidotusta piikarbidista (RSiC), piinitridistä ja alumiininitridistä – ja tarjoaa suuren jäykkyyden, pienen lämpölaajenemisen, erinomaisen kulutuskestävyyden ja pitkän käyttöiän.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Yleiskatsaus piikarbidi (SiC) keraamisesta istukasta

ThePiikarbidikeraaminen istukkaon tehokas alusta, joka on suunniteltu puolijohteiden tarkastusta, kiekkojen valmistusta ja liimaussovelluksia varten. Valmistettu edistyneistä keraamisista materiaaleista – mukaan lukiensintrattu piikarbidi (SSiC), reaktiosidottu piikarbidi (RSiC), piinitridijaalumiininitridi– se tarjoaakorkea jäykkyys, pieni lämpölaajeneminen, erinomainen kulutuskestävyys ja pitkä käyttöikä.

Tarkan suunnittelun ja huippuluokan kiillotuksen ansiosta istukka tarjoaaalle mikronin tasaisuus, peilimäinen pinta ja pitkäaikainen mittapysyvyys, mikä tekee siitä ihanteellisen ratkaisun kriittisiin puolijohdeprosesseihin.

Keskeiset edut

Korkea tarkkuus
Tasaisuus hallinnassa sisällä0,3–0,5 μmvarmistaen kiekkojen vakauden ja johdonmukaisen prosessin tarkkuuden.
Peilin kiillotus
SaavuttaaRa 0,02 μmpinnan karheus, mikä minimoi kiekkojen naarmut ja kontaminaation – täydellinen erittäin puhtaisiin ympäristöihin.
Ultrakevyt
Vahvempi mutta kevyempi kuin kvartsi- tai metallipinnat, mikä parantaa liikkeenohjausta, reagointikykyä ja paikannustarkkuutta.
Korkea jäykkyys
Poikkeuksellinen Youngin moduuli varmistaa mittapysyvyyden raskaissa kuormissa ja suurnopeuskäytössä.
Alhainen lämpölaajeneminen
CTE vastaa tarkasti piikiekkoja, mikä vähentää lämpörasitusta ja parantaa prosessin luotettavuutta.
Erinomainen kulutuskestävyys
Äärimmäinen kovuus säilyttää tasaisuuden ja tarkkuuden myös pitkäaikaisessa, korkeataajuisessa käytössä.

Valmistusprosessi

Raaka-aineiden valmistelu
Erittäin puhtaita piikarbidijauheita, joilla on kontrolloitu hiukkaskoko ja erittäin vähän epäpuhtauksia.
Muovaus ja sintraus
Tekniikoita, kutenpaineeton sintraus (SSiC) or reaktiosidos (RSiC)tuottaa tiheitä, tasaisia keraamisia alustoja.
Tarkkuuskoneistus
CNC-hionta, laserleikkaus ja erittäin tarkka koneistus saavuttavat ±0,01 mm:n toleranssin ja ≤3 μm:n yhdensuuntaisuuden.
Pintakäsittely
Monivaiheinen hionta ja kiillotus Ra 0,02 μm:iin asti; valinnaisia pinnoitteita saatavilla korroosionkestävyyden tai räätälöityjen kitkaominaisuuksien parantamiseksi.
Tarkastus ja laadunvalvonta
Interferometrit ja karheusmittarit varmistavat puolijohdelaatuisten spesifikaatioiden noudattamisen.

Tekniset tiedot

Parametri	Arvo	Yksikkö
Tasaisuus	≤0,5	μm
Kiekkojen koot	6'', 8'', 12'' (saatavilla myös mittatilaustyönä)	—
Pinnan tyyppi	Tapin tyyppi / Renkaan tyyppi	—
Tapin korkeus	0,05–0,2	mm
Tapin vähimmäishalkaisija	ϕ0,2	mm
Nastojen vähimmäisväli	3	mm
Tiivisterenkaan min. leveys	0,7	mm
Pinnan karheus	Ra 0,02	μm
Paksuustoleranssi	±0,01	mm
Halkaisijatoleranssi	±0,01	mm
Yhdensuuntaisuuden toleranssi	≤3	μm

Tärkeimmät sovellukset

Puolijohdekiekkojen tarkastuslaitteet
Kiekkojen valmistus- ja siirtojärjestelmät
Kiekkojen liimaus- ja pakkaustyökalut
Edistynyt optoelektronisten laitteiden valmistus
Tarkkuusinstrumentit, jotka vaativat erittäin tasaisia ja puhtaita pintoja

Kysymyksiä ja vastauksia – piikarbidikeramiikkaistukka

K1: Miten piikarbidi-keraamiset istukat vertautuvat kvartsi- tai metalli-istukoihin?
A1: Piikarbidi-istukat ovat kevyempiä, jäykempiä ja niiden CTE on lähellä piikiekkoja, mikä minimoi lämpömuodonmuutoksen. Ne tarjoavat myös erinomaisen kulutuskestävyyden ja pidemmän käyttöiän.

K2: Minkä tasaisuuten voidaan saavuttaa?
A2: Sisäisesti hallittu0,3–0,5 μm, täyttäen puolijohdetuotannon tiukat vaatimukset.

K3: Naarmuttaako pinta kiekkoja?
A3: Ei – peilikiillotettuRa 0,02 μm, mikä varmistaa naarmuuntumattoman käsittelyn ja vähentää hiukkasten muodostumista.

K4: Mitä kiekkokokoja tuetaan?
A4: Vakiokoot6'', 8'' ja 12'', ja räätälöintimahdollisuus on mahdollinen.

K5: Millainen on lämmönkestävyys?
A5: SiC-keraamit tarjoavat erinomaisen korkean lämpötilan suorituskyvyn ja minimaalisen muodonmuutoksen lämpökierron aikana.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.