Erittäin tarkka piikarbidista valmistettu ilmalaakerivaihe

Lyhyt kuvaus:

Puolijohdeteollisuuden jatkuvan kehityksen myötä käsittely- ja tarkastuslaitteet vaativat yhä parempaa suorituskykyä. Laajan liikkeenohjauksen ja nanometritason paikannuksen asiantuntemuksemme pohjalta olemme kehittäneet tasomaisen H-tyypin kaksiakselisen erittäin tarkan ilmalaakeripöydän.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Yleiskatsaus

Äärellisten elementtien menetelmällä optimoidulla piikarbidi (SiC) -keraamisella rakenteella ja kompensoidulla ilmalaakeritekniikalla suunniteltu pöytä tarjoaa erinomaisen tarkkuuden, jäykkyyden ja dynaamisen vasteen. Se sopii ihanteellisesti:

Puolijohteiden käsittely ja tarkastus
Mikro-/nanorakenteiden valmistus ja metrologia
Nanometrin mittakaavan kärpäsleikkaus ja kiillotus
Nopea ja tarkka skannaus

Tärkeimmät ominaisuudet

SiC-ilmalaakeriohjainerittäin korkean jäykkyyden ja tarkkuuden takaamiseksi
Korkea dynamiikka: nopeus jopa 1 m/s, kiihtyvyys jopa 4 g, nopea laskeutuminen
Kaksoisvetoinen portaalin Y-akselitakaa suuren kantavuuden ja vakauden
Enkooderin asetuksetoptinen hila tai laserinterferometri
Paikannustarkkuus±0,15 μm;toistettavuus±75 nm
Optimoitu kaapelien reitityspuhtaan suunnittelun ja pitkäaikaisen luotettavuuden takaamiseksi
Mukautettavat kokoonpanotsovelluskohtaisiin tarpeisiin

Erittäin tarkka muotoilu ja suoravetoinen, kosketukseton arkkitehtuuri

SiC-keraaminen kehys~5 kertaa alumiiniseoksen jäykkyys ja ~5 kertaa pienempi lämpölaajeneminen, mikä varmistaa vakauden suurilla nopeuksilla ja lämpökestävyyden.
Kompensoitu ilmalaakeriPatentoitu muotoilu parantaa jäykkyyttä, kuormituskykyä ja liikkeen vakautta.
Dynaaminen suorituskykyTukee 1 m/s nopeutta ja 4 g:n kiihtyvyyttä, mikä on ihanteellinen suuren läpimenon prosesseihin.
Saumaton integrointiYhteensopiva tärinänvaimennusjärjestelmien, pyörivien vaiheiden, kallistusmoduulien ja kiekkojen käsittelyalustojen kanssa.
Kaapelien hallintaHallittu taivutussäde minimoi rasituksen ja pidentää käyttöikää.

Ytimetön lineaarimoottoriSujuva liike ilman värähtelyä.
Monimoottorinen käyttöKuormatason moottorin sijoittelu parantaa suoruutta, tasaisuutta ja kulmatarkkuutta.
LämpöeristysMoottorit on eristetty lavarakenteesta; valinnaisesti ilma- tai vesijäähdytys korkeita käyttöjaksoja varten.

Tekniset tiedot

Malli	400-400	500-500	600-600
Kirveet	X (skannaus) / Y (askel)	X (skannaus) / Y (askel)	X (skannaus) / Y (askel)
Liike (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Tarkkuus (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Toistettavuus (nm)	±75	±100	±100
Resoluutio (nm)	0,3	0,3	0,3
Suurin nopeus (m/s)	1	1	1
Kiihtyvyys (g)	4	4	4
Suoruus (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabiilisuus (nm)	±5	±5	±5
Maksimikuormitus (kg)	20	20	20
Kallistus/Roll/Yaw (kaarisekuntia)	±1	±1	±1

Testiolosuhteet:

Ilmansyöttö: puhdas, kuiva; kastepiste ≤ 0 °F; hiukkassuodatus ≤ 0,25 μm; tai 99,99 % typpeä.
Tarkkuus mitattiin 25 mm pöydän keskikohdan yläpuolella lämpötilassa 20±1 °C ja suhteellisessa kosteudessa 40–60 %.

Sovellukset

Puolijohdelitografia, tarkastus ja kiekkojen käsittely
Mikro-/nanorakenteiden valmistus ja tarkkuusmetrologia
Huippuluokan optiikan valmistus ja interferometria
Ilmailu ja edistynyt tieteellinen tutkimus

Usein kysytyt kysymykset – piikarbidista valmistettu ilmalaakerivaihe

1. Mikä on ilmatyynylava?

Ilmalaakerilava käyttää ohutta paineilmakalvoa lavan ja ohjakkeen välissäkitkattoman, kulumattoman ja erittäin tasaisen liikkeenToisin kuin perinteiset mekaaniset laakerit, se poistaa stick-slipin, tarjoaa nanometritason tarkkuuden ja tukee pitkäaikaista luotettavuutta.

2. Miksi lavarakenteessa käytetään piikarbidia (SiC)?

Korkea jäykkyys~5 × alumiiniseokseen verrattuna, mikä minimoi muodonmuutoksen dynaamisen liikkeen aikana.
Alhainen lämpölaajeneminen~5 × alhaisempi kuin alumiinilla, säilyttäen tarkkuuden lämpötilan vaihteluissa.
KevytPienempi tiheys kuin teräksellä, mikä mahdollistaa nopean ja suuren kiihtyvyyden.
Erinomainen vakausErinomainen vaimennus ja jäykkyys erittäin tarkkaan paikannukseen.

3. Tarvitseeko lava voitelua tai huoltoa?

Perinteistä voitelua ei tarvita, koskaei mekaanista kosketustaSuositeltuun huoltoon kuuluvat:

Toimittaminenpuhdasta, kuivaa paineilmaa tai typpeä
Suodattimien ja kuivainten säännöllinen tarkastus
Valvontakaapelit ja jäähdytysjärjestelmät

4. Mitkä ovat ilmansyötön vaatimukset?

Kastepiste: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Hiukkasten suodatus: ≤ 0,25 μm
Puhdasta, kuivaa ilmaa tai 99,99 % puhdasta typpeä
Vakaa paine minimaalisella vaihtelulla

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.