6 tuuman 150 mm piikarbidipiikarbidikiekot 4H-N tyyppi MOS- tai SBD-tuotantotutkimukseen ja dummy-laatuun
Sovelluskentät
6 tuuman piikarbidin yksikidealustalla on ratkaiseva rooli useilla teollisuudenaloilla. Ensinnäkin sitä käytetään laajasti puolijohdeteollisuudessa suuritehoisten elektronisten laitteiden, kuten tehotransistoreiden, integroitujen piirien ja tehomoduulien, valmistukseen. Sen korkea lämmönjohtavuus ja korkean lämpötilan kestävyys mahdollistavat paremman lämmönpoiston, mikä parantaa tehokkuutta ja luotettavuutta. Toiseksi piikarbidikiekot ovat olennaisia tutkimusaloilla uusien materiaalien ja laitteiden kehittämisessä. Lisäksi piikarbidikiekot löytävät laajoja käyttökohteita optoelektroniikan alalla, mukaan lukien LEDien ja laserdiodien valmistuksessa.
Tuotteen tekniset tiedot
6 tuuman piikarbidiyksikidealustalla on halkaisija 6 tuumaa (noin 152,4 mm). Pinnan karheus on Ra < 0,5 nm ja paksuus 600 ± 25 μm. Substraatti voidaan räätälöidä joko N- tai P-tyypin johtavuudella asiakkaan vaatimusten mukaan. Lisäksi sillä on poikkeuksellinen mekaaninen vakaus, joka kestää painetta ja tärinää.
Halkaisija | 150±2,0 mm (6 tuumaa) | ||||
Paksuus | 350 μm ± 25 μm | ||||
Suuntautuminen | Akseleilla: <0001>±0,5° | Pois akselista: 4,0° kohti 1120±0,5° | |||
Polytyyppi | 4H | ||||
Resistanssi (Ω·cm) | 4H-N | 0,015-0,028 Ω·cm/0,015-0,025 ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Ensisijainen tasainen suuntaus | {10-10}±5,0° | ||||
Ensisijainen litteä pituus (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Reuna | Viiste | ||||
TTV/jousi/loimi (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM edessä (Si-face) | Puolan Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra < 0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Appelsiininkuori/kuopat/halkeamat/kontaminaatio/tahrat/juovia | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään | ||
sisennykset | Ei mitään | Ei mitään | Ei mitään |
6 tuuman piikarbidin yksikidealusta on korkean suorituskyvyn materiaalia, jota käytetään laajalti puolijohde-, tutkimus- ja optoelektroniikkateollisuudessa. Se tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, mekaanisen stabiilisuuden ja korkean lämpötilan kestävyyden, mikä tekee siitä sopivan suuritehoisten elektronisten laitteiden valmistukseen ja uusien materiaalien tutkimukseen. Tarjoamme erilaisia spesifikaatioita ja räätälöintivaihtoehtoja vastaamaan asiakkaiden erilaisiin vaatimuksiin.Ota yhteyttä saadaksesi lisätietoja piikarbidikiekoista!