4 tuuman piikarbidikiekot 6H puolieristävät piikarbidisubstraatit prime, tutkimus- ja valelaatuiset

Lyhyt kuvaus:

Puolieristetty piikarbidisubstraatti muodostetaan leikkaamalla, hiomalla, kiillottamalla, puhdistamalla ja muulla käsittelytekniikalla puolieristetyn piikarbidikiteen kasvun jälkeen.Substraatille kasvatetaan epitaksina laatuvaatimukset täyttävä kerros tai monikerroksinen kidekerros, jonka jälkeen mikroaalto-RF-laite valmistetaan yhdistämällä piirisuunnittelu ja pakkaus.Saatavana 2 tuuman 3 tuuman 4 tuuman 6 tuuman 8 tuuman teollisuus-, tutkimus- ja testilaatuisena puolieristetynä piikarbidin yksikidealustana.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Tuotteen tiedot

Arvosana			Nolla MPD -tuotantoluokka (Z-luokka)			Vakiotuotantoluokka (P-luokka)		Nuken luokka (D-luokka)
Halkaisija			99,5 mm ~ 100,0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Vohvelin suuntaus			Poisakselista: 4,0° kohti < 1120 > ±0,5° 4H-N:lle, akselille: <0001>±0,5° 4H-SI:lle
	4H-SI		≤ 1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Ensisijainen tasainen suuntaus		{10-10} ±5,0°
Ensisijainen litteä pituus		32,5 mm±2,0 mm
Toissijainen litteä pituus		18,0 mm±2,0 mm
Toissijainen tasainen suuntaus		Pii etupuoli ylöspäin: 90° CW.pohjamaalauksesta ±5,0°
Reunojen poissulkeminen		3 mm
LTV/TTV/jousi/loimi		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Epätasaisuus			C kasvot				Kiillottaa		Ra ≤ 1 nm
			Si kasvot	CMP	Ra ≤ 0,2 nm					Ra ≤ 0,5 nm
Reunahalkeamia korkean intensiteetin valossa		Ei mitään						Kumulatiivinen pituus ≤ 10 mm, yksittäinen pituus ≤ 2 mm
Kuusiokololevyt korkean intensiteetin valolla		Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05 %						Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,1 %
Polytyyppialueet korkean intensiteetin valolla		Ei mitään						Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 3 %
Visuaaliset hiilisulkeumat		Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05 %						Kumulatiivinen pinta-ala ≤3 %
Korkean intensiteetin valon piipinnan naarmut		Ei mitään						Kumulatiivinen pituus ≤1＊kiekon halkaisija
Edge Chips korkea intensiteetti valossa		Ei sallittu ≥0,2 mm leveys ja syvyys						5 sallittu, ≤1 mm kukin
Korkean intensiteetin piipinnan kontaminaatio		Ei mitään
Pakkaus		Monen kiekon kasetti tai yksi kiekkosäiliö