Ionisuihkukiillotuskone safiirin SiC Si:lle

Lyhyt kuvaus:

Ionisuihkun muotoilu- ja kiillotuskone perustuu periaatteeseenioniruiskutusKorkeavakuumikammion sisällä ionilähde tuottaa plasmaa, joka kiihdytetään korkeaenergiseksi ionisuihkuksi. Tämä suihku pommittaa optisen komponentin pintaa poistaen materiaalia atomitasolla, mikä saavuttaa erittäin tarkan pinnankorjauksen ja viimeistelyn.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Yksityiskohtainen kaavio

Ionisuihkukiillotuskoneen tuotekatsaus

Ionisuihkun muotoilu- ja kiillotuskone perustuu ioniruiskutuksen periaatteeseen. Korkeatyhjiökammiossa ionilähde tuottaa plasmaa, joka kiihdytetään korkeaenergiseksi ionisuihkuksi. Tämä suihku pommittaa optisen komponentin pintaa poistaen materiaalia atomitasolla erittäin tarkan pinnankorjauksen ja viimeistelyn saavuttamiseksi.

Kosketuksettomana prosessina ionisuihkukiillotus poistaa mekaanisen rasituksen ja välttää pinnan vaurioita, mikä tekee siitä ihanteellisen vaihtoehdon tähtitieteessä, ilmailu- ja avaruusteollisuudessa, puolijohteissa ja edistyneissä tutkimussovelluksissa käytettävän tarkkuusoptiikan valmistukseen.

Ionisuihkukiillotuskoneen toimintaperiaate

Ionien syntyminen
Inerttiä kaasua (esim. argonia) johdetaan tyhjiökammioon ja ionisoidaan sähköpurkauksen avulla plasman muodostamiseksi.

Kiihtyvyys ja säteen muodostuminen
Ionit kiihdytetään useisiin satoihin tai tuhansiin elektronivoltteihin (eV) ja muotoillaan vakaaksi, fokusoiduksi sädepisteeksi.

Materiaalinpoisto
Ionisuihku irrottaa fyysisesti atomeja pinnalta käynnistämättä kemiallisia reaktioita.

Virheiden havaitseminen ja polun suunnittelu
Pinnan muotopoikkeamat mitataan interferometrialla. Poistofunktioita käytetään viipymäaikojen määrittämiseen ja optimoitujen työstöratojen luomiseen.

Suljetun silmukan korjaus
Iteratiiviset käsittely- ja mittaussyklit jatkuvat, kunnes RMS/PV-tarkkuustavoitteet saavutetaan.

Ionisuihkukiillotuskoneen tärkeimmät ominaisuudet

Yleinen pintojen yhteensopivuus– Käsittelee tasaisia, pallomaisia, asfäärisiä ja vapaamuotoisia pintoja

Erittäin vakaa poistonopeus– Mahdollistaa alle nanometrin lukujen korjauksen

Vaurioitumaton käsittely– Ei pinnan alla olevia vikoja tai rakenteellisia muutoksia

Tasainen suorituskyky– Toimii yhtä hyvin eri kovuusasteen materiaaleilla

Matala-/keskitaajuuksien korjaus– Poistaa virheet ilman keski- ja korkeataajuisten häiriöiden syntymistä

Vähäinen huoltotarve– Pitkä jatkuva käyttö minimaalisella seisokkiajalla

Ionisuihkukiillotuskoneen tärkeimmät tekniset tiedot

Tuote	Tekniset tiedot
Käsittelymenetelmä	Ioniruiskutus korkeatyhjiöympäristössä
Käsittelytyyppi	Kosketukseton pinnan muotoilu ja kiillotus
Työkappaleen enimmäiskoko	Φ4000 mm
Liikeakselit	3-akselinen / 5-akselinen
Poiston stabiilius	≥95 %
Pinnan tarkkuus	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tyypillinen RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Taajuuden korjausominaisuus	Poistaa matala- ja keskitaajuiset virheet aiheuttamatta keski- ja korkeataajuisia virheitä
Jatkuva käyttö	3–5 viikkoa ilman imurin huoltoa
Ylläpitokustannukset	Matala

Ionisuihkukiillotuskoneen käsittelyominaisuudet

Tuetut pintatyypit

Yksinkertainen: Litteä, pallomainen, prisma

Kompleksi: Symmetrinen/epäsymmetrinen asfääri, akselin ulkopuolella oleva asfääri, sylinterimäinen

Erikoisominaisuudet: Ultraohuet optiikat, liuskeoptiikat, puolipallooptiikat, konformaaliset optiikat, vaihelevyt, vapaamuotoiset pinnat

Tuetut materiaalit

Optinen lasi: kvartsi, mikrokiteinen, K9 jne.

Infrapunamateriaalit: pii, germanium jne.

Metallit: alumiini, ruostumaton teräs, titaaniseos jne.

Kiteet: YAG, yksikiteinen piikarbidi jne.

Kovat/hauraat materiaalit: piikarbidi jne.

Pinnan laatu / Tarkkuus

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Ionisuihkukiillotuskoneen käsittelytapaustutkimukset

Tapaus 1 – Vakiokokoinen litteä peili

Työkappale: D630 mm kvartsilevy

Tulos: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

Tapaus 2 – Röntgenheijastava peili

Työkappale: 150 × 30 mm silikonilevy

Tulos: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Kulmakerroin 0,13 µrad

Tapaus 3 – Akselin ulkopuolinen peili

Työkappale: D326 mm:n epäaksiaalinen hiottu peili

Tulos: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Usein kysytyt kysymykset kvartsilasista

Usein kysytyt kysymykset – Ionisuihkukiillotuskone

K1: Mitä on ionisuihkukiillotus?
A1:Ionisuihkukiillotus on kosketukseton prosessi, jossa käytetään kohdennettua ionisuihkua (kuten argonioneja) materiaalin poistamiseen työkappaleen pinnalta. Ionit kiihdytetään ja suunnataan pintaa kohti, mikä aiheuttaa atomitason materiaalinpoiston ja erittäin tasaisen pinnan. Tämä prosessi poistaa mekaanisen rasituksen ja pinnan alla olevat vauriot, mikä tekee siitä ihanteellisen tarkkuusoptisten komponenttien valmistukseen.

K2: Millaisia pintoja ionisuihkukiillotuskone voi käsitellä?
A2:TheIonisuihkukiillotuskonevoi käsitellä erilaisia pintoja, mukaan lukien yksinkertaisia optisia komponentteja, kutenlitteitä, palloja ja prismojasekä monimutkaisia geometrioita, kutenasfäärit, akselin ulkopuolella olevat asfääritjavapaamuotoiset pinnatSe on erityisen tehokas materiaaleille, kuten optiselle lasille, infrapunaoptiikalle, metalleille ja koville/hauraille materiaaleille.

K3: Mitä materiaaleja ionisuihkukiillotuskone voi käsitellä?
A3:TheIonisuihkukiillotuskonevoi kiillottaa monenlaisia materiaaleja, mukaan lukien:

Optinen lasiKvartsi, mikrokiteinen, K9 jne.
InfrapunamateriaalitPii, germanium jne.
Metallit: Alumiini, ruostumaton teräs, titaaniseos jne.
KristallimateriaalitYAG, yksikiteinen piikarbidi jne.
Muut kovat/hauraat materiaalitPiikarbidi jne.

Tietoa meistä

XKH on erikoistunut erikoisoptisten lasien ja uusien kristallimateriaalien korkean teknologian kehittämiseen, tuotantoon ja myyntiin. Tuotteemme palvelevat optista elektroniikkaa, kulutuselektroniikkaa ja sotilaskäyttöön. Tarjoamme safiirioptisia komponentteja, matkapuhelinten linssinsuojuksia, keraamia, LT-, piikarbidi-SIC-, kvartsi- ja puolijohdekidekiekkoja. Ammattitaitoisen asiantuntemuksen ja huippuluokan laitteiden avulla olemme erinomaisia epästandardien tuotteiden prosessoinnissa ja tavoitteenamme on olla johtava optoelektronisten materiaalien korkean teknologian yritys.