LiTaO3-litiumtantalaattiharkot Fe/Mg-dopingilla, räätälöityjä 4 tuuman, 6 tuuman, 8 tuuman teolliseen anturitekniikkaan
Tekniset parametrit
Tekniset tiedot | Perinteinen | Korkea tarkkuus |
Materiaalit | LiTaO3(LT)/LiNbO3-kiekot | LiTaO3(LT)/LiNbO3-kiekot |
Suuntautuminen | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° |
Rinnakkainen | 30 tuumaa | 10 tuumaa |
Kohtisuora | 10′ | 5' |
pinnan laatu | 40/20 | 20/10 |
Aaltorintaman vääristymä | λ/4 @ 632 nm | λ/8 @ 632 nm |
Pinnan tasaisuus | λ/4 @ 632 nm | λ/8 @ 632 nm |
Kirkas aukko | >90 % | >90 % |
Viiste | <0,2 × 45° | <0,2 × 45° |
Paksuuden/halkaisijan toleranssi | ±0,1 mm | ±0,1 mm |
Maksimimitat | halkaisija 150 × 50 mm | halkaisija 150 × 50 mm |
XKH-palvelut
1. Suurikokoinen harkkojen valmistus
Koko ja leikkaus: 3–8 tuuman harkot X/Y/Z-leikkauksella, 42° Y-leikkauksella ja räätälöidyillä kulmaleikkauksilla (±0,01° toleranssi).
Dopingin valvonta: Fe/Mg-seostus Czochralskin menetelmällä (pitoisuusalue 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) valon taittokyvyn ja lämpöstabiilisuuden optimoimiseksi.
2. Edistyneet prosessiteknologiat
Heterogeeninen integrointi: Piipohjaiset LiTaO3-komposiittikiekot (POI), joiden paksuus on säädettävissä (300–600 nm) ja lämmönjohtavuus jopa 8,78 W/m·K korkeataajuisille SAW-suodattimille.
Aaltojohtimien valmistus: Protoninvaihto- (PE) ja käänteisprotoninvaihto- (RPE) tekniikat, joilla saavutetaan submikronin aaltojohteita (Δn >0,7) nopeille elektro-optisille modulaattoreille (kaistanleveys >40 GHz).
3. Laadunhallintajärjestelmät
Kokonaisvaltainen testaus: Raman-spektroskopia (polytyypin varmistus), XRD (kiteisyys), AFM (pinnan morfologia) ja optisen tasaisuuden testaus (Δn <5×10⁻⁵).
4. Globaalin toimitusketjun tuki
Tuotantokapasiteetti: Kuukausittainen tuotanto > 5 000 harkkoa (8 tuumaa: 70 %), mikä tukee 48 tunnin hätätoimitusta.
Logistiikkaverkosto: Kattaa Euroopan, Pohjois-Amerikan ja Aasian ja Tyynenmeren alueen lento-/merirahtina lämpötilasäädellyillä pakkauksilla.
5. Tekninen yhteiskehitys
Yhteiset tutkimus- ja kehityslaboratoriot: Yhteistyö fotoniikan integrointialustojen parissa (esim. SiO2-kerrosten vähähäviöinen sidonta).
Yhteenveto
LiTaO3-harkot toimivat strategisina materiaaleina, jotka muokkaavat optoelektroniikkaa ja kvanttiteknologioita. Kiteenkasvatusta (esim. PVT), virheiden vähentämistä ja heterogeenistä integrointia (esim. POI) koskevien innovaatioiden avulla toimitamme erittäin luotettavia ja kustannustehokkaita ratkaisuja 5G/6G-viestintään, kvanttilaskentaan ja teolliseen IoT:hen. XKH:n sitoutuminen harkkojen virheiden vähentämisen edistämiseen ja 8-tuumaisen tuotannon skaalaamiseen varmistaa asiakkaille johtoaseman globaaleissa toimitusketjuissa ja edistää laajan kaistanleveyden puolijohdeekosysteemien seuraavaa aikakautta.

