4 tuuman piikarbidikiekot, 6H puolieristävät piikarbidipohjat, ensiluokkaiset, tutkimus- ja testikäyttöön tarkoitetut

4 tuuman piikarbidikiekot, 6H puolieristävät piikarbidipohjat, ensiluokkaiset, tutkimus- ja testilaatuiset

Lyhyt kuvaus:

Puolieristetty piikarbidisubstraatti muodostetaan leikkaamalla, hiomalla, kiillottamalla, puhdistamalla ja muilla prosessointitekniikoilla puolieristetyn piikarbidikiteen kasvatuksen jälkeen. Substraatille kasvatetaan epitaksian laatuvaatimukset täyttävä kerros tai monikerroksinen kidekerros, ja sitten mikroaalto-RF-laite valmistetaan yhdistämällä piirisuunnittelu ja pakkaaminen. Saatavilla 2 tuuman, 3 tuuman, 4 tuuman, 6 tuuman ja 8 tuuman teollisuus-, tutkimus- ja testilaatuisina puolieristettyinä piikarbidi-yksikidealustoina.

Lähetä meille sähköpostia

Ominaisuudet

Tuotetiedot

Luokka			Nolla MPD -tuotantoluokka (Z-luokka)			Vakiotuotantoluokka (P-luokka)		Nuken luokka (D-luokka)
Halkaisija			99,5 mm ~ 100,0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Kiekkojen suunta			Akselin ulkopuolella: 4,0° suuntaan < 1120 > ±0,5° 4H-N:lle, Akselin varrella: <0001> ±0,5° 4H-SI:lle
	4H-SI		≤1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Ensisijainen tasainen suunta		{10–10} ±5,0°
Ensisijainen tasainen pituus		32,5 mm ± 2,0 mm
Toissijainen tasainen pituus		18,0 mm ± 2,0 mm
Toissijainen tasainen suunta		Silikonipinta ylöspäin: 90° myötäpäivään pohjapinnasta ±5,0°
Reunan poissulkeminen		3 mm
LTV/TTV/Jousi/Loimi		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Karheus			C-pinta				Kiillottaa		Ra≤1 nm
			Si-kasvot	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Reunan halkeamat voimakkaalla valolla		Ei mitään						Kokonaispituus ≤ 10 mm, yksittäinen pituus ≤ 2 mm
Kuusikulmaiset levyt High Intensity Lightilla		Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05%						Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,1 %
Polytyyppialueet voimakkaalla valolla		Ei mitään						Kumulatiivinen pinta-ala ≤3%
Visuaaliset hiili-inkluusiot		Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05%						Kumulatiivinen pinta-ala ≤3%
Piipinnan naarmut voimakkaalla valolla		Ei mitään						Kumulatiivinen pituus ≤1 * kiekon halkaisija
Edge Chips High By Intensity Light		Ei sallittu ≥0,2 mm leveys ja syvyys						5 sallittua, ≤1 mm kukin
Piipinnan kontaminaatio suurella intensiteetillä		Ei mitään
Pakkaus		Monikiekkoinen kasetti tai yksi kiekkosäiliö