4 tuuman piikarbidikiekot, 6H puolieristävät piikarbidipohjat, ensiluokkaiset, tutkimus- ja testikäyttöön tarkoitetut
Tuotetiedot
| Luokka | Nolla MPD -tuotantoluokka (Z-luokka) | Vakiotuotantoluokka (P-luokka) | Nuken luokka (D-luokka) | ||||||||
| Halkaisija | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||||||||
| 4H-SI | 500 μm ± 20 μm | 500 μm ± 25 μm | |||||||||
| Kiekkojen suunta |
Akselin ulkopuolella: 4,0° suuntaan < 1120 > ±0,5° 4H-N:lle, Akselin varrella: <0001> ±0,5° 4H-SI:lle | ||||||||||
| 4H-SI | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ||||||||
| 4H-SI | ≥1E9 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||||||||
| Ensisijainen tasainen suunta | {10–10} ±5,0° | ||||||||||
| Ensisijainen tasainen pituus | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||||||||
| Toissijainen tasainen pituus | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||||||||
| Toissijainen tasainen suunta | Silikonipinta ylöspäin: 90° myötäpäivään pohjapinnasta ±5,0° | ||||||||||
| Reunan poissulkeminen | 3 mm | ||||||||||
| LTV/TTV/Jousi/Loimi | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
| Karheus | C-pinta | Kiillottaa | Ra≤1 nm | ||||||||
| Si-kasvot | CMP | Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||||||
| Reunan halkeamat voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kokonaispituus ≤ 10 mm, yksittäinen pituus ≤ 2 mm | |||||||||
| Kuusikulmaiset levyt High Intensity Lightilla | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05% | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,1 % | |||||||||
| Polytyyppialueet voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤3% | |||||||||
| Visuaaliset hiili-inkluusiot | Kumulatiivinen pinta-ala ≤0,05% | Kumulatiivinen pinta-ala ≤3% | |||||||||
| Piipinnan naarmut voimakkaalla valolla | Ei mitään | Kumulatiivinen pituus ≤1 * kiekon halkaisija | |||||||||
| Edge Chips High By Intensity Light | Ei sallittu ≥0,2 mm leveys ja syvyys | 5 sallittua, ≤1 mm kukin | |||||||||
| Piipinnan kontaminaatio suurella intensiteetillä | Ei mitään | ||||||||||
| Pakkaus | Monikiekkoinen kasetti tai yksi kiekkosäiliö | ||||||||||
Yksityiskohtainen kaavio
Kirjoita viestisi tähän ja lähetä se meille
